特点:
0.1和0.2μm的标准颗粒尺寸,可在0.1和5.0μm范围内定制
极好的流量控制和动态的入口压力调节具备极快的清洁和恢复时间
高流速保证了快速的清洗时间
的流量调节,一体化设计保证了低维护量
激光能量诊断,颗粒计数软件和完全的可追溯NIST标准4-20mA输出
应用:
电子半导体制造超纯水系统颗粒计数检测
性能:
测量粒径尺寸(μm):0.1,0.2 系统流速>1L/min
样品流速 10ml/min, 样品压力设置30-100psig
光源采用激光二极管
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