小型大口径开启式管式炉

报价 ¥5万 - 10万

综合评分暂无

仪器对比

品牌

合肥科晶

型号

OTF-1200X-5S

产地

中国大陆安徽

应用领域

暂无

合肥科晶材料技术有限公司

营业执照已认证

金牌会员
第12年
一般经销商

核心参数

仪器种类：管式炉

最高温度： 1000℃

控温精度： ±1℃

最大功率： 3KW

升温速度（达到最高温）： 20℃/min

加热方式：仪表控温

内部尺寸： 130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL

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产品详情

OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉，其最高工作温度可以达到1000℃。炉管Φ130mm的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰，可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统，可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1℃。此款管式炉最多可对4英寸的晶片进行退火。

技术参数

炉体结构	双层壳体结构采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，并且表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率，保证温度均匀性此款管式炉也可做为立式炉使用（点击图片查看详细资料）
功率	3KW
电压	220VAC 50/60Hz
最高工作温度	1000℃（＜1小时）
连续工作温度	900℃
最大加热速率	20℃/min
加热区	加热区长度：300mm 恒温区长度： 100 mm (+/-1oC ) 140 mm (+/-2oC )
温控系统	采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序带有超温和断偶保护可选购MTS02-B控温模块，可用电脑设置和显示温度程序
欧陆仪表（可选）	可选购欧陆3504温控仪表，可与LABVIEW软件比配
控温精度	+/- 1°C
炉管	石英管，尺寸：130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL 配有2个氧化铝管堵，使用设备时应放在炉管两端，保证恒温区和法兰密封性可选购石英管堵，提高炉管内的洁净度和帮助获得高真空
真空密封法兰	配有一对不锈钢密封法兰，采用硅胶密封圈密封右端法兰为KF25接口，用于连接真空泵左端法兰上安装有机械压力表，接口为1/4英寸卡套接头，用于连接气瓶真空度：10-2torr (采用机械泵)
真空密封法兰	可选：5英寸的水冷铰链法兰，并带有支撑架水冷法兰通入冷却水后，设备最高温度可以达到1100℃（＜1小时）
真空压力表	安装有一机械压力表，测量范围为-0.1～0.15MPa 可选购数显防腐真空计当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类不同而进行系数转换，测量范围为3.8x10-5 -1125 Torr
铠装热电偶（可选）	可选购铠装K型热电偶，通过法兰的铠装孔伸入到炉管内部，测量样品的实际温度可选购一个法兰支撑架，防止炉管转动
尺寸	炉盖打开关闭时: 430mm(L) × 480mm(W) × 480mm(H) 炉盖打开时 : 660mm(L) × 480mm(W) × 720mm(H)
净重	48 Kg
质保期	一年质保期，终生维护（不包含炉管，密封圈和加热元件）
质量认证	CE认证所有电器元件（>24V）都通过UL?/?MET?/?CSA认证若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
应用注意事项	炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）