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用途
质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。
特点
1、可根据用户需求选择纯模拟或纯数字；
2、高精度、快响应；
3、具有成本优势。
核心技术指标
1、数字模拟信号可选；
2、精度:±1.0% S.P. （≥35% F.S.） ±0.35% F.S.（＜35% F.S.）；
3、响应时间： ≤1sec；
4、零点漂移：<0.6%F.S/年；
5、流量规格：10sccm-50slm；
6、输入信号: RS232/485 or 0-5V。
应用领域
用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
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