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用途
D07量热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。
特点
1、高精度，快响应型；
2、橡胶密封、模拟电路的 MFC；
3、采用 DB15 型电插头，国际标准机械接头；
4、国际兼容。
应用领域
广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
核心技术参数
项 目 | D07-19B | D07-19C | D07-19CM | |
流量规格 | （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500） SCCM | |||
（0~1，2，3，5，10，20） SLM | ||||
准确度 | ±1 % F.S. (20SLM: ±2 % F.S.) | |||
线性 | ±0.5 % F.S. (20SLM: ±2 % F.S.) | |||
重复精度 | ±0.2 % F.S. | |||
响应时间 | ≤2 sec | ≤1.5 sec | ||
工作压差范围 | ≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa | <0.02MPa | ||
耐压 | 3 MPa | 10 MPa | ||
温度系数 | Zero：≤±0.05% F.S./℃；Span：≤±0.1% F.S./℃ | |||
工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | |||
输入信号 | 0 V ~ +5.00 V | -- | ||
输出信号 | 0 V ~ +5.00 V | |||
电插头形式 | DB15 pin（Male） | |||
电源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA | +15 V 50 mA -15V 50 mA | ||
抗电磁干扰 | CE | |||
外形尺寸 | 见图 | |||
重量 | 0.95 kg | 1.2 kg | 1.0kg | |
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