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一, 基于激光的GHz声波振动观测系统 MLD-101系列
基于激光的观测系统，专门设计用于显示基于电介质/压电的高频设备的表面声波 surface acoustic wave（SAW）和体声波 Bulk Acoustic Wave（BAW），如SAW滤波器（Interdigital Transducer 叉指换能器 IDT）和薄膜体声波谐振器（FBAR）
基于激光的GHz声波振动观测系统 MLD-101系列,基于激光的GHz声波振动观测系统 MLD-101系列适用于不同频率下物理声波传播的分析
短时间广域观测
图像 FFT & IFFT 处理
观察示例
IDT
FBAR
参数
振动检测方法 | 基于Sagnac干涉仪的振动检测(峰值频率灵敏度:5GHz) |
振动观察法 | 用激光光束探测的台控扫描观测(面外振动) |
观测光源 | 二极管激光器(波长:650nm典型)，照明LED |
可用物镜 | ×20、×50、×100 物镜 |
可观察到的频率 | 500MHz ～ 6GHz (Typ.) |
驱动信号输入范围*1 | 500MHz～6GHz (-120dBM～＋15dBM) *2 |
Max. 可分析区域 | 25mm × 25mm |
容许工作量 | Max. 8英寸晶圆片 |
样品台 | 电动X-Y型载物台 |
主要软件功能 | 基于采样阶段控制的预设区域扫描观测 |
2维 ⇔ 3维观察结果指示(in Movie) | |
二维FFT⇔FFT图象处理 | |
基于FFT结果的特定振动共振模式滤波 | |
面外轴倾角校正 | |
基于预设频率表的连续数据采集 | |
构造 | 主体/电气单元/信号发生器/锁相放大器/级驱动器/ PC /软件 |
*1 提供高频探测装置。(手动探测) *2 提供输入信号放大器。 | |
二, 用于晶圆的纵向克尔效应量测系统 BH-618SK
用于8英寸或12英寸晶圆的硬盘磁头和磁传感器目标映射测量的非接触式评估系统。
| 光源 | 二极管激光器（408nm 或 650nm） |
|---|---|
| 测量克尔效应 | 纵向克尔效应 |
| 激光光斑直径 | φ2mm |
| 磁场 | 面内方向：Max. >±2kOe (±0.2T) |
| 晶圆尺寸 | 8 英寸或 12 英寸晶圆 |
测量示例
1年
是
有
我司实验室可进行培训
1年内
免费更换零件 调试等
约定时间内进行维修调试
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