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PlasCalc等离子体监控系统
PlasCalc等离子体监控系统通过测量等离子体反应腔的发射光谱，实时监测反应腔内的等离子体组分和密度、等离子体温度、电子密度等参数。由等离子体发射光谱的强度值可计算得出等离子组分、颗粒密度及电子密度；由同一电子的能量吸收谱线同另外谱线的对比可计算得出电子温度。测量输出结果，可反馈控制等离子体的发生，从而获得最佳的反应流程和效果。
PlasCalc等离子体监控系统主要包括：高性能线阵CCD光谱仪、传输光纤、接收透镜、过程监控装置及测量分析软件。
PlasCalc应用于测量等离子体镀膜沉积情况，监测等离子浊刻，检查表面清洁处理，分析等离子反应腔控制情况，监测异常污染排放现象，磁控溅射、光学镀膜、终点测量、开发等离子过程的监测和控制优化。
PlasCalc等离子体监控系统基本性能：
●测量范围：测量发射光谱获得等离子体组分/密度/电子温度等参数
●光谱范围：200-1100nm
●探测器：2048像素CCD
●光谱分辨率：1nm
●A/D转换：14位
●通讯方式：USB1.1
●供电方式：直流12V；1.25A
●应用场合：等离子体镀膜沉积/等离子体监测/安全监控/反映过程优化/终点测量
◆PlasCalc等离子体监控系统应用软件
-实时在线监测等离子过程的发射光谱
-监测和控制的双屏幕技术
-8数字量输入/输出；4模拟量输出
-终点、启动、停止及限位的信息音提示
◆备选附件
-SpecLine Software：峰值查找和谱线辨别
-UV & UV-VIS & NIR 传输光纤
-COL-UV-6 & COL-UV-30准值透镜
-VFT真空接管
-PVFT-UVX & PVFT-UVX真空法兰接头
海阳光学PlasCalc等离子体监控系统信息由顶尖科仪（中国）股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于海阳光学PlasCalc等离子体监控系统报价、型号、参数等信息，顶尖科仪客服电话：400-860-5168转3896，欢迎来电或留言咨询。
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