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纳米级电容位移传感器
所属类别： ? 精密定位系统/平移台/扫描系统 ? 压电精密定位系统
产品简介
超灵敏，纳米级电容位移传感器！
电容位移传感器的原理是利用力学变化使电容器中其中的一个参数发生变化的方法实现信号的变化的。电容位移传感器由目标和探针两个传感板组成电容器。当电容器之间的距离发生改变时，电容器的电容量就会发生改变，使用适当的控制器就会测出两个传感板距离的变化。
纳米级电容位移传感器是非接触式位置测量系统。该系统由目标和探针两个传感板组成电容器。当电容器之间的距离发生改变时，电容器的电容量就会发生改变，使用适当的控制器就会测出两个传感板距离的变化。电容位移传感器拥有极高的灵敏度分辨率可由于0.1nm，频带宽可达到10KHz，直线性可到达0.02%。由于传感器是一种非接触式的精密测量系统，因此还拥有无摩擦，无迟滞等特点。
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电容位移传感器因具有结构简单、功耗低、精度高、动态性能好、频带宽、高稳定性和非接触测量等优点，在工业生产和科学研究领域得到广泛的应用。
上海昊量光电设备有限公司推出的电容位移传感器主要包括以下几款产品：
① AU-NX系列电容位移传感器是基于电容测微原理的非接触式的位移测量系统。该电容位移传感器由目标和探针两个传感板组成电容器。利用合适的控制器可测量两个电容板之间的距离，在1.25mm的行程中，分辨率可高达7pm。此外该位移传感器具有很高的频带宽，可达到10KHz，拥有优越的线性度可达到0.02%。由于该电容位移传感器为非接触式精密测量系统，因此具有零迟滞、低功耗等优点。此外该系列的位移传感器可有铝合金和不胀钢两种材质。
②AU-NZ系列位移传感器的工作原理与AU-NZ系列的完全相同。它们的主要区别在工艺和材质上不同。AU-NZ电容位移传感器采用微晶陶瓷和张胀钢材质，并且没有粘合剂。这使其拥有极好的热稳定性，非常适合低温使用。
③大量程电容位移传感器，主要包括AU-NCG-1-AL-UHV，该高分辨率位移传感器为严苛环境条件下设计，工作温度范围可以从-200℃到+150℃。采用镀金陶瓷电容板，行程可达到11000微米，且分辨率可达到0.12微米。在极大的行程中仍然可以保持较好测直线性，线性度可达到0.4%。
u 主要特点
l 大行程（11mm）
l 高分辨率（0.1nm）
l 高热稳定性
l 高直线性（0.02%）
l 零迟滞
l 高频带宽度（10KHz）
l 低功耗
l 操作温度范围大（-200~+150℃）
精密制造、计量、形变测量、平台控制、材料测试、显微镜、能动光学、精密光束控制等。
u 主要参数
型号 参数 | AU-NX | AU-NZ | ||||||
AU-NXB | AU-NXC | AU-NXD | AU-NZB | AU-NZC | AU-NZD | |||
Active area（mm2） | 22.5 | 113 | 282 | 22.5 | 113 | 282 | ||
Material | Aluminium / Super Invar | Zerodur / Super Inva | ||||||
Thermal drift (nmK-1) | Aluminium 230 Super Invar 3 | 1.5 | ||||||
Short range-S(10pF) | Range | 20mm | 100mm | 250mm | 20mm | 100mm | 250mm | |
Noise | <0.001 | <0.005 | <0.013 | <0.001 | <0.005 | <0.013 | ||
Linearity error(%) | <0.08 | <0.05 | <0.06 | <0.08 | <0.05 | <0.06 | ||
Long range –L (2pF) | Range(mm) | 100 | 500 | 1250 | 100 | 500 | 1250 | |
Noise | <0.015 | <0.075 | <0.188 | <0.015 | <0.075 | <0.188 | ||
Linearity error(%) | <0.08 | <0.03 | <0.06 | <0.08 | <0.03 | <0.06 | ||
Operating temperature | Controller | +10 to +50 ℃ | +10 to +50 ℃ | |||||
Sensor | -273 to +100 ℃ | -273 to +100 ℃ | ||||||
型号 参数 | AU-NCG-1-AL- UHV | |||||||
Materials | Aluminium housing with gold plated alumina (ceramic) sensors | |||||||
Sensor range | 11mm | |||||||
Position noise (rms) | 120nm | |||||||
Uncompensated linearity | 0.4% | |||||||
Probe area | 2500mm2 | |||||||
Operating temperature | -200 to +150 ℃ | |||||||
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