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可进行倾斜透视检查的标准倾斜型号 适合范围：电子装置、封装基板等
? 特征
1. 搭载新开发的微焦开放管。灯丝实现原有的约3倍寿命（和本公司比）。
2. 搭载了TOSMICRON?S系列共通的高性能软件和高速?高精度机械。实现舒适操作性和高性能。
3. 通过最大60°的检测器倾斜、可从倾斜方向透视。标准装备了通过同步追踪可修正追踪功能。
4. 大型样品台（600×350mm）可对应。
? 适合范围
1. IC电子元件的高放大检查
2. 表面封装元件的接合部检查
3. 小型精密元件检查
主要规格
型号
TOSMICRON?S5110IN
X射线发生装置
开放管，最大110kV，200μA，公称最小焦点3μm
检测器
4/2英寸I.I.
最大放大率（样品台面）
约525倍
倾斜功能
检测器倾斜0～60°
样品台尺寸
X410mm×Y360mm（有效摄影范围350×300mm）（标准型号）
X600mm×Y350mm（加大型号）
装置外形尺寸（本体）
W1150×H1670×D1430mm(标准型号）
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