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空气分子污染物监测系统

报价 面议

品牌

杜克泰克

型号

阿瑞斯-µVOC

产地

中国大陆北京

应用领域

暂无

在线式

进口

红外分析法

10s

多种

概述:

空气分子污染物(AMC)对于高科技生产过程是关键性因素,特别是微电子行业,有机污染物是生产过程中的消极因素,会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。


无空气分子污染物生产是理想的生产目标,通过污染物源头控制、传播控制,实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现,持久监测AMC浓度,有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。


阿瑞斯-μVOC提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案,不需要采样,离线测量。


检测限达到sub-ppb级

洁净室环境中的空气分子污染物AMC,内部来自建筑材料释出、设备和材料释出、腐蚀和光刻等工艺过程中化学药品逸散、人员产生、管路泄露、设备维护修理时散发等,外部来自环境空气中存在的气相污染物,以及洁净室的废气排放重新送回洁净室。

一旦AMC空气分子污染物超标会引起一系列严重后果,比如晶圆废弃、停产、重新净化洁净室等。


可测组份

2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH

(t-乙酸丁脂)二羟基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH

2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH

六甲基二硅胺烷(CH3 ) 3SiNHSi(CH3)3

异丙醇(CH3 ) 2CHOH

二乙氨基乙醇(C2H5)2NC2H5OH

乙醇胺 H2NCH2CH2OH

邻苯二甲酸二辛酯C6H4(C=OOC8H15)2

环己胺C6H11NH2

邻苯二甲酸二乙酯C6H4(C=OOC2H5)2

环聚二甲基硅氧烷(-Si(CH3)2O-)n

邻苯二甲酸二丁酯 C6H4(C = OOC4H9)2

对二氯苯CIC6H4CL

三乙胺(C2H) 3N

邻苯二甲酸二壬酯C6H4(C=OOC9H19)2

邻苯二甲酸二环己酯C6H4(C=OOC6H11)2

邻苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2

磷酸三乙酯(C2H5O ) 3P=0

十甲基环五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)5

十二甲基环五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)6

二甲苯(CH3)2C6H4

三甲酚磷酸酯(CH3C6H4O ) 3P=0

三甲基硅醇C3H10OSi

......



亮点

一般特点:

  • 在线连续质量监测全部自动化系统

  • 低浓度VOC监测

  • 独立分开测量有机物成份

  • Sub-ppb检测限

  • 集成计算机和控制软件以及数据采集与处理功能

 

应用

  • 洁净间污染物监测

  • 过滤器状态监测

  • 加工过程全组份测量诊断污染物



售后服务

1年

技术人员上门培训

半年1次

免费维修,更换零件(不是人为损坏)

24小时内技术电话回复,3天内上门维修

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发布心得活动

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空气分子污染物监测系统信息由北京杜克泰克科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于空气分子污染物监测系统报价、型号、参数等信息,杜克客服电话:400-860-5168转3578,欢迎来电或留言咨询。

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