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概述：
空气分子污染物(AMC)对于高科技生产过程是关键性因素，特别是微电子行业，有机污染物是生产过程中的消极因素，会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。
无空气分子污染物生产是理想的生产目标，通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现，持久监测AMC浓度，有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。
阿瑞斯-μVOC提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案，不需要采样，离线测量。
检测限达到sub-ppb级
洁净室环境中的空气分子污染物AMC，内部来自建筑材料释出、设备和材料释出、腐蚀和光刻等工艺过程中化学药品逸散、人员产生、管路泄露、设备维护修理时散发等，外部来自环境空气中存在的气相污染物,以及洁净室的废气排放重新送回洁净室。
一旦AMC空气分子污染物超标会引起一系列严重后果，比如晶圆废弃、停产、重新净化洁净室等。
可测组份
2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH | (t-乙酸丁脂)二羟基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH |
2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH | 六甲基二硅胺烷(CH3 ) 3SiNHSi(CH3)3 |
异丙醇(CH3 ) 2CHOH | 二乙氨基乙醇(C2H5)2NC2H5OH |
乙醇胺 H2NCH2CH2OH | 邻苯二甲酸二辛酯C6H4(C=OOC8H15)2 |
环己胺C6H11NH2 | 邻苯二甲酸二乙酯C6H4(C=OOC2H5)2 |
环聚二甲基硅氧烷(-Si(CH3)2O-)n | 邻苯二甲酸二丁酯 C6H4(C = OOC4H9)2 |
对二氯苯CIC6H4CL | 三乙胺(C2H5 ) 3N |
邻苯二甲酸二壬酯C6H4(C=OOC9H19)2 | 邻苯二甲酸二环己酯C6H4(C=OOC6H11)2 |
邻苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2 | 磷酸三乙酯(C2H5O ) 3P=0 |
十甲基环五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)5 | 十二甲基环五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)6 |
二甲苯(CH3)2C6H4 | 三甲酚磷酸酯(CH3C6H4O ) 3P=0 |
三甲基硅醇C3H10OSi | ...... |
亮点
一般特点：
在线连续质量监测全部自动化系统
低浓度VOC监测
独立分开测量有机物成份
Sub-ppb检测限
集成计算机和控制软件以及数据采集与处理功能
应用
洁净间污染物监测
过滤器状态监测
加工过程全组份测量诊断污染物
1年
是
有
技术人员上门培训
半年1次
免费维修，更换零件（不是人为损坏）
24小时内技术电话回复，3天内上门维修
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