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该模块可用于芯片的表面改性和清洗,具有高化学抗性。
产品详情
芯片装载后,仅仅暴露出芯片正面,而其他部分则被O圈密封起来。芯片正面上方存在一定的凹槽,可在该凹槽处滴加改性液或清洗液,从而保证芯片正面直接浸没入改性或清洗液中。而其密封功能,则保证了芯片的其他部分不会受到有机溶剂或有害液体的损坏。也可将该模块浸没入超声清洗设备中,实现芯片表面的清洗。
同时,可根据用户需求,提供四芯片或八芯片清洗单元。
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