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桌面型表面镀膜系统

报价 ¥10万 - 30万

品牌

暂无

型号

DPU 150

产地

中国大陆北京

应用领域

暂无
该产品已下架

DPU 桌面级真空镀膜系统采用模块化设计、分布式布置,兼容手

动控制和电脑软件联网控制方式,非常适合以积木式方式来灵活

定位于为真空镀膜方向教学提供一套高效、灵活、直观的动手实

践工具,解决目前学生面对设备只看不能动手组装搭建的问题。

同时也适合真空镀膜科研前期方案试探,快速(快10倍效率)、

低成本。此外也适用于非真空镀膜专业人士用于产品开发时,进

行简单的薄膜表面处理工序。

技术规格

参数

泵组

涡轮泵机组TPS80-涡轮泵机组TPS150

本底真空

<5*10-6 Torr

泵组启动时间

<120 s

腔室模块

标准ISO腔体,~? 100-300 mm, 尺寸可定制

靶源模块

 

2、3、4英寸磁控靶源 +多弧源MAC100(? 100 mm)可选

阳极层离子源IAS60+ ICP40 射频清洗源可选

电源模块

各种品牌直流、脉冲、射频等电源可选

气体控制

气体控制器模块+MFC流量计控制

真空规

德国Leybold Vacuum全量程复合规+MKS 皮拉尼规

操作方式

 

手动触摸屏操作+电脑联网控制

 

电源

220V   AC,50/60Hz 接地三脚插头

质量保证

一年免费/终身维护


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