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DPU 桌面级真空镀膜系统采用模块化设计、分布式布置，兼容手 |
动控制和电脑软件联网控制方式，非常适合以积木式方式来灵活 |
定位于为真空镀膜方向教学提供一套高效、灵活、直观的动手实 |
践工具，解决目前学生面对设备只看不能动手组装搭建的问题。 |
同时也适合真空镀膜科研前期方案试探，快速（快10倍效率）、 |
低成本。此外也适用于非真空镀膜专业人士用于产品开发时，进 |
行简单的薄膜表面处理工序。 |
技术规格 | 参数 |
泵组 | 涡轮泵机组TPS80-涡轮泵机组TPS150 |
本底真空 | <5*10-6 Torr |
泵组启动时间 | <120 s |
腔室模块 | 标准ISO腔体，~? 100-300 mm， 尺寸可定制 |
靶源模块
| 2、3、4英寸磁控靶源 +多弧源MAC100（? 100 mm）可选 阳极层离子源IAS60+ ICP40 射频清洗源可选 |
电源模块 | 各种品牌直流、脉冲、射频等电源可选 |
气体控制 | 气体控制器模块+MFC流量计控制 |
真空规 | 德国Leybold Vacuum全量程复合规+MKS 皮拉尼规 |
操作方式
| 手动触摸屏操作+电脑联网控制
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电源 | 220V AC，50/60Hz 接地三脚插头 |
质量保证 | 一年免费/终身维护 |
桌面型表面镀膜系统信息由北京欧屹科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于桌面型表面镀膜系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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