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SNE-4500M型扫描电镜是韩国SEC公司研制的高分辨、自动化、经济的高端型号Mini-SEM，具备与大型扫描电镜同等的分辨率。该设备实现了大电镜的小型化处理，放大倍率高达10万倍；装载易于使用的可变光阑，可达到5nm图像分辨率，是台式电镜中分辨率最高的设备；作为*一款5轴载台的Mini-SEM, 能同时运用鼠标控制与快捷键移动样品进行全方位分析；可通过多种扫描模式与测试工具获得多种分析结果。广泛应用于材料科学、生命科学、教育、鉴定、工业、电子、环境、能源等领域。
仪器配置
型号 | 参数 | |
SEM basic | SNE-4500M | 分辨率：5nm，放大倍数：100,000倍，探测器：二次电子（SE），电压：1到30kv，样品台：X,Y,R,Z,T五轴/手动控制，真空：高 |
含 | 台式电脑（或笔记本电脑）/因特尔处理器，硬盘：500GB，RAM缓存:4GB | |
显示器（21.5英寸） | ||
机械泵（装配；软管）；SEM备用零件（灯丝，试件台，夹具，扳手……）Cable; Connecting 连接电缆 | ||
SEM Additional accessories | 背散射探测器，类型：固态4通道 | |
自动轴控制 -Type: X,Y,R(3-axis)/DC Type(Basic);类型：X,Y,R(3轴)/DC型(标配) | ||
EDS System EDS系统 | element | 分辨率：129 电子伏 / 元素范围：从B 到Am, 反应区域：25mm2, C系列Si3N4窗口，软件：TEAM（频谱分析，图像，多点，线扫描，数据记录） |
图1 SNE-4500M型扫描电镜
技术参数
电子光学系统 | 分辨率 | 5nm (30kV, 二次电子成像) |
放大倍率 | 20x~100,000x | |
加速电压 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) | |
探测器 | 二次电子探测器（SE） | |
电子枪 | 预对中钨灯丝 | |
载台系统 | 载台运动 | 5轴系统 (X, Y, R, Z, T -手动) |
X, Y-轴: 40mm / R-轴: 360° | ||
Z-轴: 0~35mm / Tilt-轴 : 0~45° | ||
* 影像偏移 : ±150μm | ||
*样品尺寸 | 80mm（Φ）*35mm（H） | |
成像系统 | 自动功能 | 自动启动，自动聚焦，自动消像散，自动调节对比与亮度 |
图像格式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF | |
真空系统 | 真空模式 | 高真空（低真空可选） |
真空泵 | 旋转式机械泵/涡轮式分子泵（全自动） | |
尺寸与重量 | 主机 | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg |
控制单元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg | |
旋转泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
EDS(elment）介绍
EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)是装载在SEM(电子显微镜)上的可以对样品表面进行成分分析的设备。电子束轰击样品表面后，可产生多种信号，EDS探测器通过检测其中的特征X-Ray，进行定性和定量分析。用户可采用线扫、面扫等模式，进行点、线、面等多区域多样的表面成分分析，并生成不同格式的结果报告。赛可所有电镜型号都可以装载EDS探测器，其搭载的袖珍EDS和大型电镜配备的EDS具有相同的性能，且不需液氮，操作快速、简便。
(a) 定性定量分析
提供快速*的定性及定量分析结果，面，点等多领域多样的表面成分分析，如图2。
- 自动分离重叠峰值, 提供高信頼性结果。
图2 赛可台式扫描电镜EDS图谱
(b) 线扫（Line Scan）
根据使用者指定的直线来进行分析，可以明显区分各元素差异，如图3。
图3 赛可台式扫描电镜EDS线扫图
(c) 面扫（Mapping）
以不同颜色区分各元素所在区域，如图4。
图4 赛可台式扫描电镜EDS面扫图
自动轴控制
在标配的手动控制载台上搭载电动控制，可以对载台在X/Y/R三轴的移动进行自动控制，使样品移动更简单。
用户可以利用控制界面进行位置移动，在软件中双击鼠标，位置回归中心点。
图5 自动化平台
设备应用展示
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晶圆 (SE/10 kV/30,000x) | 氮化镓(SE/15 kV/10,000x) |
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二氧化硅（SE/20 kV/30,000x） | 氧化锌（SE/5 kV/15,000x） |
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