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Cleaner Manufacturing ScS-300TM

报价 面议

品牌

暂无

型号

ScS-300TM

产地

亚洲韩国

应用领域

暂无
该产品已下架

CMP后硅片的清洗 (Post CMP Wafer Cleaning)
? 可和其他设备结合使用( Integration into cluster tools)
? 硅片最终沉积物清洗( Post Deposition Wafer Cleaning)
? 可根据顾客需要的步骤顺序进行操作(Customized Wafer Flow
Sequence per Chamber)
? 高速旋转的硅片&清洗刷_600/(High Speed Rotation Wafer &
Brush_600rpm)
2硅片暗盒+搬运机器人 +1,2#清洗刷+SRD(2Cassette Foup + T.R +
Brush#1,2 + SRD)

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