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罗茨泵组 CombiLine系列
罗茨泵组用于中低真空环境，并提供高抽速，尤其在过渡范围内。
CombiLine 代表了各种罗茨泵组，特点是将前级泵、抽速和配件区别开。它是针对高要求工艺（例如电子束焊接、冷冻干燥模拟室）的定制化解决方案。
标准 CombiLine 泵组
配备单级 HenaLine 旋片泵的 CombiLine WU 罗茨泵组
配备两阶段 DuoLine 旋片泵的 CombiLine WD 罗茨泵组
配备 HeptaDry/UniDry 干式压缩泵的 CombiLine WH 罗茨泵组
干式罗茨泵站 （CombiLine WH）
普发真空提供干式罗茨泵站，将罗茨泵与多级前级泵相结合。该泵站的高抽速使得较高的极限压力成为现实。
干式罗茨泵站是面向高要求工艺（例如半导体行业）的一流解决方案。减少了保护设备的泵站可用于需求稍松的工艺，例如装载互锁应用，或在溅射工艺中用作前级泵。从小真空室到太能阳技术最大吞吐量和显示面板制造，我们都可以提供解决方案。
优势
干燥无油的吸入室
这些解决方案提供了最优泵容量和高可靠性。
应用
镀膜
冶金
真空干燥
脱气
光伏
研发
化学工业
油润滑罗茨泵组 （CombiLine WU / CombiLine WD）
普发真空提供罗茨泵组，将传统罗茨泵与油润滑旋片泵相结合。这些泵组提供良好的真空度，同时有较高的抽速。将旋片泵与罗茨泵结合以获得泵组，这种方式可谓经典解决方案，可以实现真空室的快速排空和中高真空下的工艺气流传输。对于许多行业工艺而言，使用油封前级泵仍然是最好的选择，因为就购买价格以及产品生命周期成本而言，它代表了最耐用和最具成本效益的解决方案。
优势
从最基本的泵系统到最全面的泵系统，一应俱全
最优泵容量和高可靠性
应用
装载互锁
镀膜
冶金
研发
一般工业应用
抽速对比
CombiLine WU
CombiLine WD
CombiLine WH
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高精度表面加工—— 采用普发真空的解决方案其他 2018-02-06
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