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仪器介绍
TF200薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。TF200根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜，还可以测量n和k值。
产品特点
快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高
应用领域
半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS，SOI等）
LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)
LED (SiO2、光刻胶ITO等）
触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)
汽车(防雾层、Hard Coating DLC等）
医学（聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等）
技术参数
型号 | TF200-VIS | TF200-EXR | TF200-DUV | TF200-XNIR |
波长范围 | 380-1050nm | 380-1700nm | 190-1100nm | 900-1700nm |
厚度范围 | 50nm-40um | 50nm-300um | 1nm-30um | 10um-3mm |
准确度1 | 2nm | 2nm | 1nm | 10nm |
精度 | 0.2nm | 0.2nm | 0.2nm | 3nm |
入射角 | 90℃ | 90℃ | 90℃ | 90℃ |
样品材料 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 |
测量模式 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 |
光斑尺寸2 | 2mm | 2mm | 2mm | 2mm |
是否能在线 | 是 | 是 | 是 | 是 |
扫描选择 | XY可选 | XY可选 | XY可选 | XY可选 |
注：1.取决于材料0.4%或2nm之间取较大者。
2.可选微光斑附件。
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