GT130D气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气象色谱仪以及其他分析仪器。
产品特点
l 自带显示,可独立运行
l 质量流量控制器执行JJG 1132-2017国家标准
l 进口电磁比例阀,使用寿命更长
l 采用RS-485通信接口,可远程组网使用
l 紧凑型外观设计,节约更多空间
l 内置高精度MEMS传感器,测量控制更精准
l 所有产品均采用特定高纯气体标定,确保产品的精度
l 可通过专用标定软件对MFC进行标定校准
l 任意角度安装均不影响气体流量
l 专业团队,提供优质服务
快速的响应
专业的标定设备及标定测试软件
采用进口标定设备,所有出厂产品均严格执行检定规程
尺寸结构
接口定义
线号定义 | 参数 | 点号 |
RS-485+ | 485 A/+ | 1 |
RS-485- | 485 B/- | 2 |
电源地 | GND | 3 |
电源正极 | +24V | 4 |
参数信息
最大流量 | 50sccm - 5slpm(可定制) |
气体类型 | H2/He/N2/Air/Ar(可定制) |
精度 | ±1%F.S. |
响应时间 | ≤1s |
气路材质 | 钝化316L不锈钢/铝合金表面氧化/铝合金惰性涂层 |
工作温度 | 0~50℃ |
工作湿度 | 0~95%R.H.(非冷凝) |
电源 | DC24V±10% / DC12V±10% |
信号接口 | RS-485(Modbus) |
尺寸 | 60×26×80mm |
选型表
1年
否
无
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免费检修
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