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1.产品特点
进口电磁比例阀，使用寿命更长
0-5V模拟控制输入输出
紧凑型外观设计，节约更多空间
内置高精度MEMS传感器，测量控制更精准
所有产品均采用特定高纯气体标定，确保产品的精度
任意角度安装均不影响气体流量
专业团队，提供优质服务
2.快速的响应
入口压力：200kPa，出口压力：大气压，响应时间：<1s
3.专业标定设备及标定测试软件
采用进口标定设备，所有出厂产品均严格执行检定规程
4.电压与流量典型值对应曲线(20℃)
5.参数信息
最大流量 | 10sccm/100sccm/500sccm/1slpm/10slpm |
气体类型 | H2/He/N2/Air（可定制） |
精度 | ±1%F.S. |
响应时间 | ≤1s |
气路材质 | 钝化316L不锈钢/铝合金 |
工作温度 | 0~50℃ |
工作湿度 | 0~95%R.H.（非冷凝） |
电源 | ±15V/24V±10%/12V±10% |
信号接口 | 0-5V模拟输入输出 |
6.尺寸结构
6.接口定义
线号定义 | 参数 | 点号 |
阀门开闭输入 | 0/5V | 1 |
流量输出 | 0-5V | 2 |
+电源 | +15V/24V/12V | 3 |
电源COM | GND | 4 |
-电源 | -15V/GND/GND | 5 |
流量设置输入 | 0-5V | 6 |
流量输出COM | GND | 7 |
流量设定COM | GND | 8 |
空 | NC | 9 |
7.选型表
型号 | 气体种类 | 量程范围 | 供电电压 | 接口尺寸 | 气路材质 | 精确度等级 | ||||||
GT130A | 代号 | 介质 | 代号 | 量程 | 代号 | 电压 | 代号 | 接口 | 代号 | 材质 | 代号 | 等级 |
H2 | 氢气 | 50 | 0-50ccm | 15 | ±15V | 16 | 1/16 | SS | 不锈钢 | 1 | 0.5 | |
N2 | 氮气 | 100 | 0-100ccm | 12 | 12V | 08 | 1/8 | AL | 铝 | 2 | 1.0 | |
HE | 氦气 | 500 | 0-500ccm | 24 | 24V | 04 | 1/4 | X | 定制 | 3 | 1.5 | |
AR | 氩气 | 1L | 0-1lpm | X | 定制 | X | 定制 | 4 | 2.0 | |||
AIR | 空气 | 5L | 0-5lpm | 5 | 2.5 | |||||||
CO2 | 二氧化碳 | 10L | 0-10lpm | X | 定制 | |||||||
X | 定制 | 20L | 0-20lpm | |||||||||
X | 定制 | |||||||||||
示例 | GT130A-AR-20L-24-04-AL-5（模拟式质量流量控制器-氩气-20lpm-24V-1/4-铝-2.5级） | |||||||||||
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