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25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC

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品牌

沈阳科晶

型号

SP-25TC

产地

中国大陆安徽

应用领域

暂无

25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC是一款小型程控感应熔炼系统,配备有直径?100mm的石英管、不锈钢法兰、石墨坩埚、真空泵、水冷机和移动架,最大功率为25KW,是生长晶体和合金熔炼(熔点< 1700oC)的理想选择。

25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC操作视频

 

 

产品型号

    25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

2、电:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带?6mm双卡套接头)

4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

    1、配有可耐1800℃的高纯氧化铝纤维制作的耐火砖,用于支撑石墨坩埚,并防止热量辐射。

    2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。

    3、温控器采用PID方式控温,可设置30段升降温程序,设有过热和断偶保护功能。

    4、配有防腐型真空计,当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类的不同进行系数转换,量程可到3.8×10E-5 torr

    5、配有双旋直连式机械泵。

技术参数

 高频感应加热炉

    1、工作电压:三相AC 380V  50Hz(需60A空气开关)

    2、最大输入功率:15KW

    3、振荡频率:30KHz-80KHz

    4、循环比:80%

    5、感应线圈:外径?120mm,内径?110mm,高50mm(可微调)

 温度控制器

    1、工作电压:AC208V-240V  单相

    2、控温精度:±5

    3、温度:连续工作温度1000-2000℃,最高工作温度1700℃(工作时间<30min

    4、最大升温速率:1/s0-1000℃)、0.5/s1200-1700℃)

 石墨坩埚(易耗件)

    1、高纯石墨坩埚:外径?40mm,内径?37.1mm,高100.5mm(可选购SiC涂层,涂在坩埚内部,以提高金属熔炼时的洁净度)

    2、最大容量:样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2

                             

 石英管和密封法兰

    1、石英管:外径?100mm,内径?92mm,长355mm

    2、顶部法兰:不锈钢法兰,装有不锈钢针阀,设有1个铠装接口(可插入热电偶至石英管内部,更准确地测量样品温度)

    3、底部法兰:设有不锈钢针阀和KF25接口(可通过波纹管与真空泵相连接)

 水冷机

    1、温度:5-30

    2、水流速:16L/min

    3、水箱容积:12L,采用不锈钢制作

  (建议使用特定的冷却剂液以达到最佳的冷却效果)

 真空泵

    1、工作电压:AC208V-240V单相

    2、抽气速率:120L/min

    3、极限真空度:10-2torr

  (为了获得更高的真空度以达到更好的熔炼效果,可选购涡旋分子泵,真空度可达10E-5torr

注意事项

 操作前,必须仔细阅读说明书,且操作人员需带防护面罩。使用时,熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行,流量小于200ml/min,需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压,若气压超过安

 全值,会引起石英管开裂、法兰蹦出,甚至造成人身伤害。

其他事项

 本机可改为RTP(快速热处理炉)和混合物物理化学气相沉积(HPCVD)系统。请参看下图。

 


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