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25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC是一款小型程控感应熔炼系统，配备有直径?100mm的石英管、不锈钢法兰、石墨坩埚、真空泵、水冷机和移动架，最大功率为25KW，是生长晶体和合金熔炼（熔点< 1700oC）的理想选择。
产品型号 | 25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） 2、电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带?6mm双卡套接头） 4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通风装置：需要 |
主要特点 | 1、配有可耐1800℃的高纯氧化铝纤维制作的耐火砖，用于支撑石墨坩埚，并防止热量辐射。 2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。 3、温控器采用PID方式控温，可设置30段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。 4、配有防腐型真空计，当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类的不同进行系数转换，量程可到3.8×10E-5 torr。 5、配有双旋直连式机械泵。 |
技术参数 | 高频感应加热炉 1、工作电压：三相AC 380V 50Hz（需60A空气开关） 2、最大输入功率：15KW 3、振荡频率：30KHz-80KHz 4、循环比：80% 5、感应线圈：外径?120mm，内径?110mm，高50mm（可微调） |
温度控制器 1、工作电压：AC208V-240V 单相 2、控温精度：±5℃ 3、温度：连续工作温度1000℃-2000℃，最高工作温度1700℃（工作时间<30min） 4、最大升温速率：1℃/s（0-1000℃）、0.5℃/s（1200℃-1700℃） | |
石墨坩埚（易耗件） 1、高纯石墨坩埚：外径?40mm，内径?37.1mm，高100.5mm（可选购SiC涂层，涂在坩埚内部，以提高金属熔炼时的洁净度） 2、最大容量：样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2 | |
石英管和密封法兰 1、石英管：外径?100mm，内径?92mm，长355mm 2、顶部法兰：不锈钢法兰，装有不锈钢针阀，设有1个铠装接口（可插入热电偶至石英管内部，更准确地测量样品温度） 3、底部法兰：设有不锈钢针阀和KF25接口（可通过波纹管与真空泵相连接） | |
水冷机 1、温度：5℃-30℃ 2、水流速：16L/min 3、水箱容积：12L，采用不锈钢制作 （建议使用特定的冷却剂液以达到最佳的冷却效果） | |
真空泵 1、工作电压：AC208V-240V单相 2、抽气速率：120L/min 3、极限真空度：10-2torr （为了获得更高的真空度以达到更好的熔炼效果，可选购涡旋分子泵，真空度可达10E-5torr） | |
注意事项 | 操作前，必须仔细阅读说明书，且操作人员需带防护面罩。使用时，熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行，流量小于200ml/min，需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压，若气压超过安 全值，会引起石英管开裂、法兰蹦出，甚至造成人身伤害。 |
其他事项 | 本机可改为RTP（快速热处理炉）和混合物物理化学气相沉积（HPCVD）系统。请参看下图。 |
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