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小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉，配有4"石英管和真空法兰，是专为半导体或太阳能电池基片（最大3"）的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热，最快升温速度为 50℃/s，设有30段温度控制，精度为±1℃。此外，通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。
小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP视频 控温仪表操作视频
产品型号 | 小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP | ||
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备需配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） 2、电：AC220V 50Hz（35A空气开关），必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带?6mm双卡套接头） 4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通风装置：需要 | ||
主要特点 | 1、内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率，同时可延长其使用寿命。 2、石英样品架固定在滑动法兰上，使样品装载更加容易。 3、样品架上放置76mm（3"）的AlN基片，承载需要退火的样品。AIN具有很高的热导率，可使样品放置的区域有很好的温度均匀性（±5℃）。 4、内插式热偶保证了温度的准确性。 5、采用PID自动温度控制，30段程序，并设有过热和断偶保护功能及自整定功能。 6、已通过CE认证。所有电器元件（>24V）都通过了UL/MET/CAS认证。若用户自行承担认证费用，本司保证单台设备通过德国TUV认证和CAS认证。 7、可增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE炉（快速热蒸发炉）。 | ||
技术参数 |
1、电源：208V-240V AC，50Hz/60Hz单相，最大功率9KW（>60A保险） 2、炉体结构：双层莫来石钢构（不带水冷或风冷） 3、石英管：外径?110mm，内径?103mm，长380mm 4、样品架：76mm 5、加热元件：8根红外灯管，灯丝长200mm，丝圈?10mm，灯长300mm 6、恒温区：102mm×305mm，均匀性±5℃ 7、热偶：K型热偶 8、温度：最高温度1100℃，额定温度1000℃（警告：在1000℃-1100℃下保温时间不超过600s，否则O型圈将被烧融） 9、控温精度：±1℃ 10、最快升温速度：RT-800℃内50℃/s，800℃-1000℃内10℃/s 11、最快降温速度：60℃/min（在200mtorr下），117℃/min（在一个大气压下） 12、真空度：50mtorr（机械泵），10-4torr（分子泵） 13、真空法兰： 带有KF-D25高真空不锈钢法兰，配有两个高温O型圈密封 14、流量计：16ml/min-160ml/min 15、真空计：数字真空计，测量范围10mtorr-800torr（注意：此表在氮气下校准的，只有在氮气和空气下表上显示的实际压力，当通入任何其他气体时，必须参考说明书中的相对气体对照表，否则后果会严重） 16、水冷：如要求通冷却水，请确定冷却水流速3L/min、水温20℃、水压25PSI（建议采用循环水制冷器作为冷却系统） | ||
产品规格 | 尺寸：760mm×330mm×530mm；重量：45kg
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标准配件 | 1 | AIN基片 | 1片 |
2 | 石英样品架 | 1个 | |
3 | 石英管 | 1根 | |
4 | 石英挡板 | 4片 | |
| 5 | 红外灯管 | 8根 | |
| 6 | 真空法兰 | 1套 | |
| 7 | KF-D25快接 | 2套 | |
| 8 | 数字真空计 | 1个 | |
| 9 | 高温手套 | 1双 | |
10 | 高温硅胶圈 | 6个 | |
11 | 聚氨酯水管（外径?12mm、内径?8mm） | 1根 | |
| 12 | 水管接头 | 2个 | |
| 13 | 3A保险 | 2个 | |
14 | 4A保险 | 2个 | |
| 可选配件 | 1、真空泵 2、波纹管（KF-D25接口）（1m） 3、KF-D25快接 4、防腐型数字式真空显示计（测量范围3.8×10-5torr-1125torr，不需要因测量气体的种类不同而进行系数转换） 5、RS485串口和控温软件 | ||
注意事项 | 1、炉管内气压不可高于0.02MPa。 2、由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。（建议选购本司的减压阀，量程为0.01MPa-0.1MPa，更加精确安全） 3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。 4、进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。 5、石英管的长时间使用温度<1100℃。 6、对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数。若气压表示数大于0.02MPa，必须立即打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂、法兰飞出等）。 | ||
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