生长纳米线CVD炉OTF-1200X-4-NW

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品牌

沈阳科晶

型号

OTF-1200X-4-NW

产地

中国大陆辽宁

应用领域

暂无

生长纳米线CVDOTF-1200X-4-NW是一种紧凑型CVD炉,专为生长各种纳米线而设计,基片最大3在法兰的左侧装有一个小加热器,可对输入的气体、液体、固体进行预加热后进入 CVD 炉进行纳米线的生长。其可滑动的样品架使操作更为简单

 

 

 

产品型号

 生长纳米线CVDOTF-1200X-4-NW

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

2、电:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带?6mm双卡套接头)

4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

   1、由OTF-1200X-4单温区炉演变而来的紧凑型CVD炉。

   2、内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。

   3、带样品支架的右法兰是滑动的,方便样品的快速取放。

   4、左侧的小加热器可对输入CVD 炉的气体、液体、固体或混合物进行预加热,不锈钢加热腔外径?30mm150mm最高工作温度600

   5、左边法兰(在加热器与CVD炉之间)装有41/4"卡套连结的通气管,具有密封和气体通道的作用。

   6PID自整定数字控制器,可以设置30段升降温程序。

   7、选配相关软件可用计算机进行控温。

   8、已通过CE认证。

技术参数

   1、额定电压:单相AC 220V  50Hz/60Hz  

   2、额定功率:3KW(需20A的空气开关)

   3、石英管:外管外径?110mm,内径?102mm,长381mm

   4、加热区域:CVD400mm,加热器150mm

   5、工作温度:CVD炉最高1100℃(<2h),连续工作200℃-1000℃,最大升降温速率10/min加热器连续工作0-500℃,最大升降温速率10/min

   6、控温精度:±1

   7、热电偶:K

   8、右法兰:一个3"石英样品支架,与石英挡板、法兰连成一体,设有KF25真空快接口,以及水冷接口(可选配水 冷机,避免O型圈融化)

   9、左法兰:有2个独立1/4″口,可单独将任何气体通入炉内,一路1/4"口将预热气体通入CVD炉,一路1/4″口将不加 热的气体通入炉内,并通过炉内的T型结构与加热气体汇合

产品规格

 尺寸:1200mm×450mm×510mm;重量:100kg

可选配件

   1冷水机

   2控温软件


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