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多路质量流量供气系统是用于控制一种到多种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架内，管式炉可以放在移动架上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响，在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用，广泛应用于电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器。
产品型号 | 混气系统2路质子GSL-2Z、混气系统3路质子GSL-3Z、混气系统4路质子GSL-4Z |
主要特点 | 精度高，运行稳定可靠，工作压力范围宽，可在高压或真空条件下工作，且操作使用方便。 |
技术参数 | 1、电源：185-245V 50Hz 2、最大输出功率：18W 3、控制范围：GSL-2Z控制器1——1-199SCCM、控制器2——1-499SCCM GSL-3Z控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCM GSL-4Z控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-199SCCM、控制器4——1-499SCCM 4、最大压力：3×106 Pa 5、准确度：±1%FS 6、线性：±0.5-1.5% 7、重复精度：±0.2%FS 8、响应时间：气特性1-4s，电特性10s针阀：316不锈钢 9、工作压差范围：0.1-0.5 MPa 10、压力表测量范围：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid） 11、混气罐：?80mm×120mm 12、截止阀：?1/4″，316不锈钢针阀 13、工作温度：5-45℃ |
产品规格 | 尺寸：600mm×600mm×650mm |
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