报价 ¥30万 - 50万
Q150T PLUS系列全自动高真空镀膜仪
英国QUORUM出品的Q150T Plus是一款优化设计的带涡轮分子泵抽真空的镀膜设备,真空度可达5x10-5mbar。可以溅射具有超细成膜颗粒的易氧化金属,适用于高分辨率成像。同样地,低散射可得到均匀而致密的无定形碳膜。
Q150T E和ES PLUS使用碳棒头作为标准配置;Q150T S和ES PLUS溅射贵金属和易氧化金属。
推荐放大倍数:
? Au、Au/Pd可达5万倍
? Pt可达10万倍
? Cr、Ir可达10万倍以上
非常适合薄膜应用,例如镀ITO、W、Al、Zn等。
推荐应用:
? 扫描电镜高分辨率放大应用
? FIB中镀保护性铂层
? 腐蚀、摩擦和磨损保护层的研发
? 医疗设备上的保护层
? BSE成像
? EDX, WDS, EBSD分析
? 蒸镀碳覆型膜
Q150T Plus 功能特点:
1)全新升级的用户界面:
? 电容式触摸屏,灵敏度高,更易触控使用
? 用户界面软件全面更新,使用现代智能技术界面
? 全面的文字帮助页面
? USB接口可轻松进行软件更新和数据备份
? log文件格式为.csv,内含日期、时间和工作参数,导出后可在Excel或类似软件中分析
? 16GB的闪存可储存超过1000条镀膜方案
? 双核ARM处理器,可实现快速响应的显示
2)允许多用户输入和储存镀膜方案,并根据近期的使用来排列每个用户的方案。
3)智能逻辑系统自动识别插入头,并显示相应的操作设置和控制。
4)系统提示用户确认靶材,然后自动为该材料选择合适参数。
5)直观方便的软件,即使新手也能快速输入和存储其处理参数,创建自己的镀膜程序,且系统已存储典型的溅射和镀碳程序可供直接调用。
6)如果软件检测到在一段时间内无法达到设定真空度,系统会终止程序,以防真空泵过热。
7)可互换的插入头:允许用户将系统配置为溅射镀膜仪、蒸镀仪或辉光放电系统 - 所有这些系统都可集成在一个设备中,节省空间。可选碳绳蒸发。可自动检测识别插入头类型。
8)可拆卸腔室,设有防爆罩:可拆卸玻璃腔室,易清洁底座和顶板。如需要,用户可快速更换腔室以避免敏感样品交叉污染。高腔室选项可用于碳蒸发,避免样品过热;提高溅射的均匀性和承载较高尺寸的样品。
9)多种样品台可选:Q150T Plus具有可满足大多数要求的样品台。所有样品台都是插入式(无螺丝),易于更换。
10)独特的“可控斜坡碳棒蒸发”、“磁控冷溅射”和“脉冲清洁用于溅射Al”等先进技术。
11)安全性符合行业CE标准。
Q150T Plus具有三种型号:
1)Q150T S Plus全自动溅射镀膜仪,可溅射易氧化金属及贵金属。可溅射的靶材包括铬、铱、钨、ITO、铝和其它靶材。
2)Q150T E Plus全自动蒸发镀碳仪(碳棒/碳绳),适合SEM领域的EDS和WDS应用。可选金属蒸发/光阑清洁头。
3)Q150T ES Plus是集成了离子溅射和热蒸镀两种方式的一体化高真空镀膜系统。镀膜头可在数秒内更换,可选金属蒸发/光阑清洁头。
Q150T Plus是Quorum Technologies出品的国际认可的Q系列镀膜仪的一部分,全球数千家客户使用此类镀膜仪。Q系列旨在为SEM、TEM和薄膜应用提供高质量的镀膜解决方案,Q系列功能多样、价格合理且易于使用。
主要操作:
1)离子溅射:溅射电流可设范围宽,至预设厚度(需选用FTM)终止或定时终止。可设溅射时间宽,无需破真空,自动内置冷却占空比。
2)蒸镀:可用碳棒(可选碳绳)蒸镀碳膜;选用钨篮或钼舟进行金属热蒸发;选用标准钼舟清洁TEM光阑
3)可视化状态指示
大而多色的LED指示灯,使用户在一定距离就可轻松识别过程状态。指示灯可显示以下状态:
◆ 初始化中 ◆ 程序运行
◆ 空闲状态 ◆ 正在镀膜
◆ 程序完成 ◆ 故障停机状态
程序完成后音频声音提示。
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