程控恒流驱动式四环四区表面冷光光源,可适应复杂的工件测量
具有快速自动对焦,自动寻边,强大的编程和自动测量功能
采用亚像素细分技术,提高边界分辨能力
在线SPC数据处理分析,大批量治具测量
X、Y、Z三轴步进伺服控制,定位精度高速度快,X、Y速度可达180mm/s,运行平稳
采用自主开发的嵌入式模块控制系统,将负责的控制系统集成于仪器内部,稳定性更高
采用花岗石低座,性能稳定,不易变形
激光指示器指示测量位置,快速定位
可选配自动变倍功能,无需要重复像素校正实现多倍率下高效测量
1. 主要技术指标:
2.1测量范围:X=300mm,Y=200mm,Z=200mm
2.2金属台尺寸(mm): 500×330
2.3玻璃台尺寸(mm): 350×280
2.4外型尺寸L*W*H:X=760mm,Y=600mm,Z=900mm
2.5仪器重量:140kg
2.6 X.Y坐标示值误差≤ (2.5+L/100)μm (L为被测长度单位:mm)
2.7分辨率:0.0005mm
2.8承受重量:30kg
2.9环境要求:
l 温度范围:20±5℃,0.5℃/h
l 湿度范围:45%-65%
l 电 源:220V(AC) ,50Hz ,30W
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