随着微电子工业、医疗卫生事业、食品工业、宇航工业、精密机械、精细化工行业的高速发展,各行业的技术设施不仅对环境有温湿度的常规要求,而且也要求室内微粒的含量、气流、压力等控制在一定范围内,洁净实验室空调技术便应运而生。
洁净实验室的选址应尽量选取周围环境较清洁和绿化较多的地区,其空调设计应遵循以下原则:
⑴在不影响生产的情况下,应尽量将洁净度要求相同的实验室安排在一起。
⑵洁净实验室内只布置必要的工艺设备,容易产生灰尘和有害气体的工艺设备尽量布置在室外。
⑶同一洁净实验室内尽量将洁净度要求高的工序布置在洁净气流首先到达的区域。
⑷易产生污染的工序应布置在靠近回风口、排风口位置。
⑸洁净室的设备及家具采用表面光滑、不易起尘的材料。
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