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Omega/Theta XRD
用于生产的立式XRD
转移技术：可高效率进行多个铸锭同时定向
同时测定（Si、Ge、BBO、YAG、SiC、GaN、蓝宝石、涡轮叶片等200多种晶体材料）所以晶体方向取向，测量单晶晶体取向偏差。
快速测量晶体取向，测量时间仅需5秒
自动晶片分类和处理
摇摆曲线测量和3Dmapping绘图
晶圆表面翘曲度偏差检测
整块晶圆和涡轮叶片晶体取向mapping
精度：0.001°
设备操作简单、快捷、方便，适用于各研究机构和全自动化生产线
测试案例：
设备测试实例：
蓝宝石取向 mapping、摇摆曲线测量：窄反射峰=表面质量好
SiC 取向 mapping、摇摆曲线测量：宽反射峰=晶体表面局部干扰
单晶涡轮叶片检测图：
碳化硅晶圆检测案例：
晶体取向mapping
总倾斜偏差mapping
表面倾斜偏差mapping
垂直方向倾斜偏差mapping
水平倾斜偏差mapping
摇摆曲线mapping
1年
否
无
我方提供设备使用及设备维护保养培训，直至采购人相关人员掌握为止
提供终身软件免费升级
设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供货方负责免费修复，失效零件予以免费更
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