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原理：用超越激光衍射极限的系统来研究样品
NTEGRA Spectra 在检测样品时，通过扫描近场光学显微术能提供超越激光光学衍射的光学分辨率。
支持两种不同的SNOM方式：光纤式SNOM和悬臂梁式SNOM所有的SNOM功能模式：透射模式，反射模式，收集模式。
所有SNOM的信号都可以被检测：激光强度，荧光强度，光谱信号等。
SNOM刻蚀：矢量式，光栅式。
NTEGRA Spectra 采用开放式光路设计，使其能够与多种光学仪器进行联用。应用领域包括微区化学成分分析、力学性能、介电性质和光学的反射、透射、传播性能的、碳基化合物、生物材料、半导体等，联用测量的空间研究等等。能够分析各种来源的复杂样品，包括聚合物分辨率已经接近纳米尺度。
技术参数 | 扫描方式 | ||
样品扫描 | 针尖扫描 | ||
样品尺寸 | 最大直径40mm 最大高度15mm | 最大直径100mm 最大高度15mm | |
样品重量 | 最大100g | 最大300g | |
XY样品定位 | 5×5mm | ||
定位精度 | 分辨率：5μm 灵敏度：2μm | ||
扫描范围 | 100×100×10μm 3×3×2.6μm | 100×100×10μm 50×50×5μm | |
最大200×200×20μm (DualScanTM模式) | |||
非线性度，XY （带有闭环传感器） | =0.1% | =0.15% | |
Z方向噪音水平（1000Hz带宽时的RMS） | 带有传感器 | 0.04nm（典型值） =0.06nm | 0.06nm（典型值） =0.07nm |
不带传感器 | 0.03nm | 0.05nm | |
XY方向噪音水平（200Hz带宽时的RMS） | 带有传感器 | 0.2nm（典型值） =0.3nm(XY 100μm) | 0.1nm（典型值） =0.2nm(XY 50μm) |
不带传感器 | 0.02nm(XY 100μm) =0.001nm(XY 3μm) | 0.01nm (XY 50μm) | |
线性度评价误差（带有传感器） | ±0.5% | ±1.2% | |
光学观察系统 | 光学分辨率 | 1μm | 3μm |
视野 | 4.5-0.4mm | 2.0-0.4mm | |
连续变焦 | 是 | 是 | |
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