P79系列Z向样品升降压电扫描台为一维Z轴微动平台,它的移动范围可达210μm,定位分辨率可达3nm。
P79平台可对样品进行Z轴快速精密的聚焦调节,阶跃时间达毫秒量级。主要用于配套宏动XY轴运动扫描平台或压电马达平台使用,在宏动平台进行样品位置的粗调后,再通过P79压电扫描台进行样品位置的调整,定位精度达纳米量级。
两款规格型号、开环/闭环可选
P79系列Z向扫描台具有两种Z向行程范围可供选择,分别为110μm及210μm,可根据调整的运动范围进行选择。
另外,P79系统可提供开环及闭环版本。开环版本定位速度更快,且分辨率高;对于有定位精度及稳定性需求的应用,可以选择配置SGS闭环传感器,装配在平台适合的位置,提供高分辨率、快速响应的传感电压信号给压电控制器。全桥设计避免了温度的漂移,确保了定位精度。
特性
• 一维Z向运动,行程210μm • 承载2kg • 通孔尺寸:128.5×86.5mm • 开环、闭环可选 • 闭环重复定位精度高
1年
否
无
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