N90系列六自由度并联机构,是θx, θy, θz, X, Y, Z六轴运动工作台,通过六支压电促动器的协调伸缩实现空间内六个自由度的运动,台体结构紧凑,三种规格型号可供选择,闭环型号定位精度高,是六自由度微操作、微电子精密加工等应用。N90.XYZTR5S/K是N90系列中直线与角度位移一款。
特性
• 六维θx, θy, θz, X, Y, Z轴运动 • 直线行程50μm,角度偏转2mrad • 小耦合 • 毫秒级响应时间 • 纳米级定位精度 • 误差无积累
1年
否
无
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