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N90系列六自由度并联机构，是θx, θy, θz, X, Y, Z六轴运动工作台，通过六支压电促动器的协调伸缩实现空间内六个自由度的运动，台体结构紧凑，三种规格型号可供选择，闭环型号定位精度高，是六自由度微操作、微电子精密加工等应用。N90.XYZTR5S/K是N90系列中直线与角度位移一款。
特性
• 六维θx, θy, θz, X, Y, Z轴运动 • 直线行程50μm，角度偏转2mrad • 小耦合 • 毫秒级响应时间 • 纳米级定位精度 • 误差无积累
售后服务
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否
无
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N90.XYZTR5六自由度并联机构 50μm信息由哈尔滨芯明天科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于N90.XYZTR5六自由度并联机构 50μm报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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