俄罗斯Optosystem准分子激光器CL7000
准分子激光器: CL7000, 俄罗斯 Optosystem
![](http://www.lxyee.net/Upload/images/%E4%BF%84%E7%BD%97%E6%96%AF%20Optosystem%20%E5%87%86%E5%88%86%E5%AD%90%E6%BF%80%E5%85%89%E5%99%A8CL7000.png)
准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。
CL7000系列技术参数:
型号 | ArF | KrF | XeCl |
波长 | 193 nm | 248 nm | 308 nm |
管材料 | 陶瓷 |
预电离 | 火花 |
标准脉冲能量 | 250 mJ | 400 mJ | 300 mJ |
平均功率 CL 7020 CL7050 CL 7100 | 5 W 10 W 20 W
| 8 W 20 W 35 W
| 6 W 15 W 25 W
|
最大重复频率 CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 20 Hz 50 Hz 100 Hz
|
脉宽 | 17 ns | 20 ns | 20 ns |
脉冲稳定度 | sigma < 2% |
光斑大小 | 6 x 20 mm | 6 x 21 mm | 7 x 22 mm |
光束发散角 | 1.5 x 4.5 mrad |
时间抖动 | < 2 ns |
尺寸, (重量) | 1350L x 375W x 710H мм (170 kg) |
冷却 CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 风冷 水冷(水流< 1L/min) 水冷(水流< 3L/min)
|
功率 CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 220V / 50Hz, 10А, 不超过1500 VA 220V / 50Hz, 10А, 不超过 1800 VA 380/220V, 50Hz, 10А, 不超过 3500 VA
|
气体 | 1 premix cylinder |
控制接口 | RS 232, DOS/Windows |
可选功能:
1 、1000Kz型号可选
2、窄线宽型号可选,线宽0.03cm-1
3、 F2,157nm型号可选
特点:
1、陶瓷放电激光腔设计,长寿命
2、激光腔,电子系统一体化设计
3、功率稳定运行模式
4、预混合供气,使用简单
5、计算机控制
应用 :
1、准分子激光脉冲沉积镀膜
2、准分子激光光栅光纤(FBG)刻写
3、准分子激光材料加工,微纳制造,光刻
![](http://www.lxyuv.com/FileLocal/20190513174703195.png)
准分子激光激光沉积镀膜(PLD)系统示意图
![](http://www.lxyuv.com/FileLocal/20190513174703723.png)
准分子激光器光纤光栅(FBG)刻写原理图
![](http://www.lxyuv.com/FileLocal/20190513174704290.png)