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德国Sentech ALD实时监测仪RTM

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品牌

暂无

型号

RTM

产地

欧洲德国

应用领域

暂无
产品详情

德国Sentech ALD实时监测仪RTM

 

SENTECH ALD实时监测仪是一种新型的光学诊断工具,是心灵超高分辨率的单一ALD循环。在不破坏真空的条件下分析薄膜特性(生长速率,厚度,折射率),在短时间内开发新工艺、实时研究ALD循环中的反应机理是SENTECH ALD实时监测仪的主要应用。

 

ALD实时监测仪的优势

 

工艺开发与优化

使用单一ALD循环可快速和简易地开发和优化ALD工艺。ALD实时监测仪显示了高达40ms分辨率的吸附和解吸过程。显著节省了研发时间,衬底,前驱体和气体。

 

节省前驱体

通过ALD实时监测仪,ALD工艺变得更加有效。节省了前驱体和工艺时间。

 

前驱体控制

当前驱体供应快要用尽时,ALD实时监测仪会立即检测到的每个周期的增长变化。

 

SENTECH ALD实时监测仪是一种新型的光学诊断工具,是心灵超高分辨率的单一ALD循环。在不破坏真空的条件下分析薄膜特性(生长速率,厚度,折射率),在短时间内开发新工艺、实时研究ALD循环中的反应机理是SENTECH ALD实时监测仪的主要应用。

 

创新的ALD实时监测仪是特别为快速和有效的工艺开发而设计,可优化SENTECH原子层沉积设备。该软件使SENTECH ALD系统和ALD实时监测仪易于操作。ALD实时监测仪完全集成到SENTECH ALD系统软件中,确保操作简单。


售后服务

1年

免费安装及技术培训

6个月一次。

经确认质量问题,免费更换。

24小时内到达现场并开始维修

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