P-1000 Pro ALD芬兰PICOSUN 生产型原子层沉积机

报价 ¥100万 - 200万

综合评分暂无

品牌

暂无

型号

P-1000 Pro ALD

产地

欧洲德国

应用领域

暂无

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

营业执照已认证

金牌会员
第5年

核心参数

产地类别：进口

衬底尺寸： -156 mm x 156 mm

工艺温度： -50 - 500 °C

前驱体数：。液态、固态、气态、臭氧源。前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务。8根独立源管线，最多加载12个前驱体源

重量： -2000KG

尺寸(W x H x D)： -(W x H x D) 230 cm x 270 cm x 125 cm

均匀性： -100%

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产品详情

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芬兰PICOSUN生产型原子层沉积机P-1000 Pro ALD

技术参数：

衬底尺寸和类型

。156 mm x 156 mm硅片800～1000片/批次（双面/背对背）
。高达400 mm x 600 mm玻璃基板30～50片/批次（双面/背对背）
。大批量的3D产品（例如：钟表部件，珠宝，硬币，医疗植入部件，机械部件等）
。多孔，通孔，高深宽比（HAR）样品

工艺温度： 50 - 500 °C

基片传送选件：

。气动升降（手动装载，带叉车forklift cart）
。全自动转载，用工业机器人实现

前驱体：

。液态、固态、气态、臭氧源
。前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务
。8根独立源管线，最多加载12个前驱体源

重量： 2000 kg

尺寸：(W x H x D) 230 cm x 270 cm x 125 cm

选件： PICOFLOW™ 扩散增强器，N2发生器，尾气处理器，定制设计，与工厂软件连接服务。

验收标准： 标准设备验收标准为 Al2O3 工艺

售后服务

保修期： 1年

是否可延长保修期：否

现场技术咨询：无

免费培训：免费安装及技术培训

免费仪器保养： 6个月一次。

保内维修承诺：经确认质量问题，免费更换。

报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修

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