System 100 英国Oxford等离子刻蚀与沉积设备

报价 ¥80万 - 100万

综合评分暂无

品牌

暂无

型号

System 100

产地

欧洲英国

应用领域

暂无

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

营业执照已认证

金牌会员
第5年

核心参数

产地类别：进口

同类仪器

为您推荐相似的镀膜机

产品详情

产品详情

Oxford System 100 等离子刻蚀与沉积设备

85. oxford system 100.png

该设备是一个灵活和功能强大的等离子体刻蚀和淀积工艺设备。采用真空进样室进样可进行快速的晶片更换、采用多种工艺气体并扩大了允许的温度范围。

具有工艺灵活性，适用于化合物半导体，光电子学，光子学，微机电系统和微流体技术， PlasmalabSystem100可以有很多的配置，详情如下。

主要特点

· 可处理8 "晶片，也具有小批量（6 × 2"）预制和试生产的能力

· 选择单晶片/批处理或盒式进样，采用真空进样室。该PlasmalabSystem100可以集成到一个集群系统中，采用中央机械手传送晶片，生产工艺中采用全片盒到片盒晶片传送. 采用一系列的电极进行衬底温度控制，其温度范围为-150 ° C至700° C

· 用于终端检测的激光干涉和/或光发射谱可安装在Plasmalab System100以加强刻蚀控制

· 选的6 或12路气箱为工艺流程和工艺气体提供了选择上的灵活性，并可以放置在远端，远离主要工艺设备

工艺

一些使用Plasmalab System100等离子刻蚀与沉积设备的例子：

· 低温硅刻蚀，深硅刻蚀和SOI工艺，应用于MEMS ，微流体技术和光子技术

· 用于激光器端面的III - V族刻蚀工艺，通过刻蚀孔、光子晶体和许多其他应用，材料范围广泛（InP, InSb, InGaAsP, GaAs, AlGaAs, GaN, AlGaN,等）

· GaN、AlGaN等的预生产和研发工艺，比如HBLED和其它功率器件的刻蚀

· 高品质，高速率SiO2沉积，应用于光子器件

· 金属（Nb, W）刻蚀

售后服务

保修期： 1年

是否可延长保修期：否

现场技术咨询：无

免费培训：免费安装及技术培训

免费仪器保养： 6个月一次。

保内维修承诺：经确认质量问题，免费更换。

报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修

用户评论

综合评分暂无

查看全部

暂无评论，点击发布评论

问商家

镀膜机System 100的工作原理介绍镀膜机System 100的使用方法?System 100多少钱一台?镀膜机System 100可以检测什么？镀膜机System 100使用的注意事项？System 100的说明书有吗？镀膜机System 100的操作规程有吗？镀膜机System 100报价含票含运吗？System 100有现货吗？

相关资讯更多

System 100 英国Oxford等离子刻蚀与沉积设备信息由深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于 System 100 英国Oxford等离子刻蚀与沉积设备报价、型号、参数等信息，蓝星宇客服电话：400-860-5168转4527，欢迎来电或留言咨询。

相关产品

推荐分类
同类仪器
该厂商仪器
相关厂商