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- 进口无油干泵+分子泵组
- ≤5E-3Pa
- 0.5-2 Pa
- ≤5 min
- 大气压到E-3Pa
- MFC气体质量流量控制器
- φ150*110mm，石英玻璃
- 靶材φ50*0.1-2mm,手动挡板
- 金属Au/Pt/Pd/Ag/Cu/Cr等
- 恒功率磁控DC电源，Max. 30w
- 可程序设定
- 触摸屏控制，一键式操控
ISC150T桌面型磁控溅射仪采用无油隔膜泵+分子泵获得高真空环境，保证样品喷金处理过程不会产生二次污染。特别适用于追求高分辨率FE-SEM样品的喷金喷铂,EDS和EBSD喷碳，光电薄膜制备，电极材料制备及其他金属镀膜用途。
本离子溅射仪主要的特点就是“无油，高真空”，制备薄膜纯度更高，薄膜质量更优；并且能够在超净间内使用。
另外附加旋转/偏转样品台选配件，具有公转+自转+偏转行星式样品台，针对3D结构及多孔隙结构样品多角度均匀喷镀导电层。
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磁控溅射沉积扫描电镜SEM样品贵金属导电膜能源/新能源 2018-12-05
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贵金属电极材料/喷金喷碳薄膜制备方案能源/新能源 2018-01-17
典型用户
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 辽宁材料实验室 | 2023-10-20 |
| 电子科技大学 | 2023-10-26 |
| MSE Supplies | 2023-11-07 |
| 重庆大学 | 2023-11-07 |
| 烟台八角湾实验室 | 2024-01-08 |
| 中国科技大学 | 2024-01-29 |
| 深圳大学 | 2024-02-05 |
| 西安交通大学 | 2020-12-21 |
| 海思光电子有限公司 | 2020-12-21 |
| 南开大学 | 2020-12-15 |
| 中科院兰州化物所青岛研发中心 | 2020-12-08 |
| 安徽工业大学 | 2020-11-11 |
| 中国工程物理研究院 | 2020-07-27 |
| 上海科技大学 | 2019-11-05 |
| 中国石油大学（华东） | 2019-09-09 |
| 成都职业技术学院 | 2019-08-09 |
| 南开大学 | 2019-06-19 |
| 北京工业大学 | 2019-01-17 |
售后服务
1年
是
有
5人次以内培训
6个月一次
免费维修更换零件
24小时到达现场并维修
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