百及纳米ParcanNano单离子注入系统SII

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品牌

百及纳米

型号

SII

产地

欧洲德国

应用领域

暂无

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第5年
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产品详情

百及纳米ParcanNano 单离子注入系弘SII（纳米级定位单离子注入系统SII）

单离子注入系统（纳米级定位单离子注入系统SII）

产品简介

公司中德技术团队家研发了一款基于新型扫描探针精准定位的离子注入系统，能有效控制注入半导体器件的杂质种类、数量和位置，实现多种离子（如 H、N、O、Si、P、B、As、Te、Ar 等）的精准定位定量掺杂注入。该系统可以满足量子比特阵列,金刚石中的氮空位中心（NV 色心）以及单原子器件的工艺精度要求，研制的设备可用于探索纳米结构器件、量子比特系统和量子信息处理器电路的开发。公司的一项革命性发明专利，解决了注入离子由于晶格散射带来的位置不确定性问题，颠覆性地将注入离子在晶体中位置的误差缩减到 10nm 以下，实现纳米级精确定位注入掺杂离子。

技术特点：

• 精准确定位定量离子注入

• 针尖悬臂上的小孔小于50nm

• 锥形电场稀释和准直离子束

• 横向电场形成离子闸门

应用领域：

• 功能材料定位掺杂

• 纳米尺度功能器件制备

• 固态量子信息技术

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售后服务

保修期： 1年

是否可延长保修期：否

现场技术咨询：无

免费培训：免费安装及技术培训

免费仪器保养： 6个月一次。

保内维修承诺：经确认质量问题，免费更换。

报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修

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