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国产
0.1
8500
100
100
技术参数及要求：
基片尺寸： φ5-100mm圆片，最/大 100×100mm 2 方片
转速： 500-8000转/分
转速稳定性： 1%
旋涂均匀性： 1
旋涂工艺阶段： 2 段
旋涂时间：Ⅰ速0~18S,最/大（0~60S）；Ⅱ速0~60S,最/大（0~180S）
整机尺寸（ 长宽高 210 mm × 2 6 0 mm × 275 mm
裸机尺寸 长宽高 210 mm × 2 6 0 mm × 1 55mm
电机功率： 40W
适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各种材料
配套 无油真空泵参数：
型号： K W 550A/KW 550T
抽速： 1 .5 升 秒
功率： 3 20W
噪音： 50db
ZUI低真空度： 700mmHg
重量： 7.3 Kg
尺寸 长宽高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽气速率： ：>60L/min
1年
否
无
电话或者微信技术培训
3月1次
质保一年
24小时回电
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