§ 产品简介:
ANNEAL真空退火炉是英国MOORFIELD公司的一款桌面式高真空退火装置,最高温度为1000℃,真空度可达5×10-7mbar,并且可以精密控制退火的气氛,样品最大尺寸为6寸,是二维材料及薄膜器件退火的理想选择工具之一。
§ 产品特性及主要参数:
• 桌面型真空退火装置
• 样品最大尺寸:6寸或者4寸圆片
• 温度有两个方案可供选择:
1)1000℃高温:加热材料为SIC涂层的石墨材料或者CCC材料,分辨率±1℃
2)600℃高温:采用石英灯加热,兼容普通空气环境,价格便宜,分辨率±1℃
• 高精度气体控制:在退火时可支持3通道气体控制: Ar,O2与N2,质量流速可控。
• 极高分辨率压力全自动控制:低至0.1mbar,退火时压力的控制至关重要,尤其是二维材料,纳 米薄膜材料,压力控制的越精准越好。
• 真空度低至<5 × 10-7 mbar
• 操作简单
• 可自定义退火程序并具有储存功能
• 维护简单
• 操作及其安全,有各种安全保护装置
• 兼容超净间
退火炉结构图
加热台外观图
§ 产品应用:
• 纳米薄膜退火处理
• 二维材料退火处理
• 金属材料,陶瓷材料等退回处理
§ 典型用户:
• the University of Exeter(UK)
• the University of Manchester(UK)
• ICFO – The Institute of Photonic Sciences ( Spain)
• the University of Cambridge and Nokia Research Centre
1年
是
有
培训人数不限
半年1次
免费维修更换零配件
接到用户产品维修需求,3小时内做出反应。
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