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国产等离子体表面处理仪
50/60Hz
5-100W
L565xW505xH560mm
不锈钢
2
半自动
产品特点
◆ 远程离子清洗源
◆ 一机多用
◆ 清洗快速高效，低轰击损伤
产品型号 | CIF-TEM |
等离子电源 | 13.56MHz 等离子射频电源，射频功率 5-150W 可调 |
远程等离子源，自动匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸 Ø180xH100mm |
清洗数量 | 可同时清洗 3 支 TEM 样品杆 |
适配品牌 | 美国 THERMO FISHER（FEI）、日本日立（HITACHI）、日本电子（JEOL） |
气体控制 | 标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm/ 分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 | 皮拉尼真空计，测量范围 1.0E-5Pa~1E+5Pa |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7 寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
真空泵 | 前级泵 |
抽气速率 2.5 m³/h | |
分子泵 | |
极限真空：LF<8*10-6Pa，CF<8*10-7Pa | |
分子泵抽速 85L/s（N2） | |
入口法兰：DN63 ISO-K(LF)/ CF | |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
电 源 | AC220V、50/60Hz，300W |
产品尺寸 | L565xW505xH560mm |
包装尺寸 | L715xW655xH820mm |
整机重量 | 68kg |
1年
否
有
有
根据客户需求
保期内免费更换零件
24小时内响应
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