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国产等离子体表面处理仪
40KHz
10-300W
D200XΦ155mm
3.8L
不锈钢
可选
双浮子流量计（标配）
CIF推出VGB-P系列手套箱专用等离子清洗设备，优化的腔体结构及合理的结构设计更适合手套箱内使用。安装简单方便，性能稳定，实用性强，容易维护。
技术参数
型号 | VGB3 | VGB3Plus |
舱体尺寸 | D200XΦ155mm | D200XΦ155mm |
舱体容积 | 3.8L | 3.8L |
舱体材质 | 不锈钢 | 不锈钢 |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
激发方式 | 电容式 | 电容式 |
射频功率 | 0-500W 可调 | 0-150W 可调 |
气体控制 | 双浮子流量计（标配） |
有效处理尺寸 | L200xW155mm |
时间设定 | 9999 秒 |
真空泵 | 抽速 4m³/h |
气体稳定时间 | 1 分钟 |
真空度 | 100pa 以内 |
电源 | AC220V 50/60Hz 666/316W |
舱体尺寸 | L235xW345xH245mm |
控制尺寸 | L330xW490xH190mm |
包装尺寸 | L450xW640xH690mm |
整机重量 | 25kg |
1年
否
有
有
根据客户需求
保期内免费更换零件
24小时内响应
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