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纳米精度六轴位移台-hexaCUBE
hexaCUBE位移台是德国attocube公司生产的能够提供六个维度高精度移动样品的集成位移系统。产品在保证优异位移度与稳定性的同时真正实现样品六个维度的自由移动，适用于大气，高真空到超高真空环境，行程可达15mm。小步50nm，小倾角变化1μrad。产品十分适合为需要多维度高精度定位的实验提供帮助。
设备特点
+ 六维度自由移动
+ 厘米行程，纳米精度的位置控制
+ 闭环位移器，高机械稳定性
+ 50 nm 线性移动精度，1 μrad 倾角精度
+ 特殊材质，兼容各种光学环境与超高真空环境
+ 软件全自动操控
+ 高稳定性
行程1mm范围，高度可重复性
行程1mm范围，误差小于50nm
小范围内，误差小于10nm
基本参数
产品型号 | hexaCUBE190 |
适用环境 | 1atm/HV/UHV |
位移器尺寸 | 190×180×105 mm3 |
大负载 | 700 g |
中心孔距 | 26 mm |
行程 | 线性x方向 ±15 mm 线性y方向 ±15 mm 线性z方向 ±20 mm 倾角x方向 +33/-19° 倾角y方向 ±21° 倾角z方向 ±19° |
精度 | 线性x,y,z方向 50nm 倾角x,y,z方向 1μrad |
材质 | 铝，不锈钢，塑料 |
标准配件
AMC100位移控制器 | + 同时控制六个方向位移； + 结合attocube专门开发的hexaCUBE控制软件； + 兼容Labview； |
应用软件
+ 界面直观 + 六维度点对点控制 + 布局合理 + 控制 |
|
1年
是
有
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