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多功能高级磁控溅射喷金仪—nanoEM

报价 ¥50万 - 80万

品牌

MOORFIELD

型号

nanoEM

产地

欧洲英国

应用领域

暂无

多功能高磁控溅射喷金仪—nanoEM


nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控溅射喷金仪。该系统可配备SEM样品托、TEM网、普通样品等多种专用样品台,满足各种高精度的喷金或电生长需求。除了溅射金属电外,nanoEM还具有大的拓展空间,虽然作为台式设备,nanoEM配备了输出功率可达300W的溅射源,系统还可选择样品台旋转、样品倾斜、自动压强控制等多种功能。丰富的选件和配置可以满足学术研究的多种样品生长需求,可升成为一台多功能的磁控溅射薄膜制备系统。该设备作为灵活的高精度金属溅射仪备受各大实验室的青睐。

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主要特点:

◎  能够达到学术研究的多功能喷金仪

◎  SEM托、TEM网、普通样品多种专用样品台可选

◎  可安装两个2英寸溅射源

◎  通用的溅射靶材

◎  本底真空<5×10-7 mbar

◎  流量计控制生长气氛

◎  可调式DC溅射源,输出功率可达300W

◎  全自动,引导式触屏控制

◎  完备的安全性设计

◎  易于维护

◎  兼容超净室

◎  稳定的性能表现


系统选件:

◎  腔体视窗

◎  真空泵型号可选

◎  气压全自动控制系统

◎  溅射源挡板

◎  等离子体辉光电

◎  样品台旋转与倾斜

◎  晶振膜厚监测系统


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售后服务

1年

初次安装培训

QD中国工程师会依据使用情况定期回访用户、给予维护建议,保障设备良好运转。

免费维修或更换零件;本地储备货值超过50万美元的备件,迅速响应故障诊断和维修。

QD中国承担中国区本地售后服务工作,专业、迅速解决用户在仪器使用过程中的问题。

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