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高纯气体分析专用
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四氯硅烷分析氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化A级项目。
| 硅(SiHCl3)含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| 二氯硅烷(SiH2Cl2)含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| 甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
| 金属元素及其他元素含量 | （硼+铝）（B+Al）含量/（μg/kg） ≤ | —— | 0.1 |
| （磷+砷）（P+As）含量/（μg/kg） ≤ | —— | 0.3 | |
| 镓（Ga）含量/（μg/kg） ≤ | —— | 0.5 | |
| 锑（Sb）含量/（μg/kg） ≤ | —— | 0.5 | |
| 铟（In）含量/（μg/kg） ≤ | —— | 0.5 | |
| 钙（Ca）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 铬（Cr）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 铁（Fe）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 钾（K）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 钠（Na）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 镍（Ni）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 钼（Mo）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 锰（Mn） 含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 铜（Cu）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 镉（Cd） 含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 钴（Co）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 锌（Zn）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 钒（V）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
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