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应力双折射测量仪

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品牌

Photonic Lattice

型号

PA-300-XL SIC

产地

亚洲日本

应用领域

暂无

台式折光仪

进口

0-130nm

<1nm(西格玛)

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       在PA系类设备的基础上,加装晶圆专用的装置,可以高效精确的测量SIC和蓝宝石这类光学性能特殊的产品的双折射和残余应力的信息。

 

 应力双折射测量仪主要特点

  • 操作简单,测量速度可以快到3秒。

  • 视野范围内可一次测量,测量范围广。

  • 更直观的全面读取数据,无遗漏数据点。

  • 具有多种分析功能和测量结果的比较。

  • 维护简单,不含旋转光学滤片的机构。

  • 高达2056x2464像素的偏振相机。



应力双折射测量仪应用领域:
  •    SIC

  •    蓝宝石


应力双折射测量仪技术参数:
 

    项次           项目            具体参数
1 输出项目 相位差【nm】,轴方向【°】,相位差与应力换算(选配)【MPa】

2测量波长520nm

3双折射测量范围0-130nm

4测量最小分辨率0.001nm

5测量重复精度<1nm(西格玛)

6视野尺寸40x48mm到240x320mm(标准)

7选配镜头视野不适用

8选配功能    实时解析软件,镜片解析软件,数据处理软件,实现外部控制



售后服务

1年

安装时培训一次

1年

保修期免费更换零部件

24响应

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