单晶硅片少子寿命测试仪--MDPspot 台式单点寿命检测仪
报价 ¥80万 - 100万
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桌面单点测量▼
低成本的台式少子寿命测量系统，对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。没有内置自动化。可选配手动z轴，用于厚度在156毫米以下的晶锭。
MDPspot可配电阻率测试选项，常规仅适用于硅，也可用于没有高度调整可能性的晶圆片以及晶锭，不过需对这两个选项之一进行预定义。
MDPspot配备结果可视化的标准软件。
设备特性▼
l 无接触和非破坏的电学参数测试
l 对外延工艺监控和不可见缺陷检测，具有可视化测试的较高分辨率
l 对于不同级别晶圆片，提供不同的菜单选项
产品优势▼
l 用于不同制备阶段，从成体到最终器件，多晶硅或单晶硅单点测量载流子寿命的台式装置。
l 体积小，成本低，使用方便。拥有一个基本的软件，结果可视化。
l 适用于晶圆片到晶锭，易于高度调整。
技术参数▼
样品 | 不同工艺处理样品，如钝化或扩散后的单晶或多晶硅晶圆、晶锭、电池等 |
样品尺寸 | 50 x 50 mm2 到12“ 或210 x 210 mm2 |
电阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
材质 | 硅晶圆，晶锭，部分或全部加工晶圆，化合物半导体和其它类型 |
少子寿命检测范围 | 20ns到几十ms |
尺寸 | 360 x 360 x 520 mm，质量：16 kg |
电源 | 110/220 V, 50/60 Hz, 3 A |
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