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小型高真空热蒸发镀膜仪
原理：采用电阻式蒸发原理，利用大电流加热钼舟或钨丝蓝或固定支架上的镀膜材料，使其在高真空下蒸发，沉积在被镀样品上以获得最佳镀膜效果。
适用范围： 电子显微镜样品制备和清洁光栏，以及科研、教学和企业中的实验活动、工艺试验。 使用了大抽速、高压缩比、自然风冷却复合分子泵，确保喷镀时能够迅速抽掉蒸发源和样品放出的气体；正常情况下喷镀室内极少有油蒸气回流，非常清洁.
| 机械泵 | 靶材 | 蒸发电流 | 加热功率 | 样品仓尺寸 | 工作真空 | 极限真空 |
| 前级为飞跃真空泵，后级为复合分子泵 | 碳、金等 | 最大电流 100A,最大电压10V | 1000W | 直径230mm，高280mm | 2*10Pa | 2*10Pa |
样品：
| 电子束敏感的样品 | 非导电的样品 | 新材料 |
| 主要包括生物样品，塑料样品等。S EM中的电子束具有较高能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料，那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用，防止此类损伤； | 由于样品不导电，其表面带有“电子陷阱”，这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应，可在样品表面镀一层金属导电层，镀层作为一个导电通道，将充电电子从材料表面转移走，消除荷电效应。在扫描电镜成像时，溅射材料增加信噪比，从而获得更好的成像质量。 | 非导电材料实验电极制作观察导电特性 |
配置参数如下：
2 真空室： 直径230mm，高度：280mm
2 靶材料： 碳、金等。
2 电极(两对)： 一对用于钼舟或钨丝栏，一对蒸碳。
2 最大电流： 100A
2 最大电压： 10V
2 极限真空： 1×10 Pa
2 工作真空： 2×10 Pa
2 加热功率： 1000W
2 机械泵： 4升/每秒，AC 220V/50Hz
2 复合分子泵： 600升/秒，AC 220V/50Hz(风冷)
主要特点：
特点：
使用了大抽速、高压缩比、自然风冷却复合分子泵，确保喷镀时能够迅速抽掉蒸发源和样品放出的气体；正常情况下喷镀室内极少有油蒸气回流，非常清洁。
否
有
1次技术培训
3个月1次
有偿更换零部件
24小时到达现场开始维护
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