温控探针台
手动
产品简介
INSTEC HCP421V-MPS 通用迷你温控探针台真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台,涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔,亦可内充入氮气等保护气体,来防止样品在负温下结霜,或高温下氧化。
功能特点
mimi型温控探针台,可集成到各种光学设备,可编程控温,涵盖-190℃~400℃,适用 10 mm ~30 mm 晶圆和器件,可抽真空的腔体,亦可充入保护气体使用,独立的四个探针(可升级至七个臂),可从设备外部移动探针进行点针,可从温控器或电脑软件控制,可提供软件SDK,模块化设计,可自由组合。
温控参数
• 温度范围:-190℃~400℃(负温需配液氮制冷)
• 加热块材质:银
• 传感器/温控方式:100Ω铂RTD / PID控制(含LVDC降噪电源)
• 最大升温速率:30℃/min
• 最小温控速度:±0.01℃/min
• 温度分辨率:0.01℃ RTD传感器
• 温度稳定性:±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃)
• 软件功能:可设温控速率,可设温控程序,可记录温控曲线
电学参数
• 探针:默认为铼钨材质的弯针探针
• 探针座:可从外部XYZ移动的探针臂
• 点针:从外部移动点针,每个探针座都可点到样品区上任意位置
• 探针接口:标准BNC接头,可选三同轴接口
• 样品台面电位:标准电接地,可选电悬空(作背电极),可选三同轴接口
光学参数
适用光路:反射光路
窗片:可拆卸与更替的窗片
最小物镜工作距离:12 mm
上盖窗片观察:窗片范围φ50mm,最大视角±50°
负温下窗片除霜:吹气除霜管路
结构参数
• 适用样品:30 mm
• 样品腔高:8 mm
• 探针座:可从外部XYZ移动的探针臂
• 调节精度 :10um
• 气氛控制:真空腔,也可充入保护气体
• 外壳冷却:可通循环水,以维持外壳温度在常温附近
1年
是
有
按客户需求人数培训
1年校准1次
非人为损坏免费维护
2小时内响应
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