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Instec
来自液晶先驱院校美国科罗拉多大学的精密温控装置与液晶检测设备
功能特点 |
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可编程精密控温。可独立控制，也可从上位机软件控制 |
帕尔贴原理温控，使用时无需耗材 |
适用最大100 mm尺寸晶圆 |
超低的盘面温度梯度 |
独立的上盘面真空吸气槽，用于吸附固定多种尺寸晶圆 |
尺寸超薄，可集成进探针台 |
可快速装载晶圆的凸起结构台面 |
软件可拓展性强，可提供LabView等语言的SDK |
#升级项# 性能可升级，详见 配置列表 |
可做改动或定制，详询上海恒商 |
技术参数 | ||
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通 用 参 数 | 温度分辨率 | 0.001℃ |
温度稳定性 | ±0.05℃(at 100℃) 可提升稳定性 | |
温度均匀度 | ±0.1℃/cm 可升级均匀性 | |
最小控温速度 | ±0.1℃/小时 | |
温度传感器 | 100Ω铂质RTD | |
温控方式 | 直流式PID (变直流形式(LVDC)输出) | |
*其他技术参数请参考 型号规格表 | ||
配置列表 | ||
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标 准 | TC102S温控晶圆夹盘 | 选1 |
TC104S温控晶圆夹盘 | ||
mK2000温度控制器 软件免费，控制线有多种接口供选 | √ | |
外壳水冷配件 用常温水或冰水循环防止外壳过热 | √ | |
升 级 | 提升热台的最高温度 |
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选 配 | 固定支架 把夹盘固定在使用平台上，防止滑动 | |
温控联动显微镜相机 温度-图像联动工作，附软件 | ||
*注：产品有多种配置变化，详询上海恒商 | ||
型号规格表 | ||||
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型号 | 盘面尺寸 | 适用样品尺寸 | 温度范围 | 最大制热速度 |
TC102S | 40 mm | 8 mm ~ 40 mm | -25℃ ～ 90℃ 可提升温度范围 | +30℃/分钟(at 37℃) |
TC104S | 40 mm | 8 mm ~ 100 mm | -25℃ ～ 90℃ 可提升温度范围 | +30℃ /分钟(at 37℃) |
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Instec 为探针台增加样品温控功能的解决方案其他 2015-08-28
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