MBRAUN研发出一系列镀膜系统,配合多种可选配件和定制化方案,用于多种镀膜工艺领域中. MBRAUN的镀膜系统可集成多种主流蒸镀工艺,如热蒸镀、温控蒸镀(用于有机材料)、电子束蒸发等一体化方案;以及射频、直流或脉冲直流磁控溅射以及被动式磁控溅射等.
UNIvap
可单独使用
紧凑型设计
经济型解决方案
多源共蒸
一致性标准偏差在+/-3 %区间 (几何式设计可缩小至+/-1 %)
两种型号可选: UNIvap 4S 和 UNIvap 5S
最多可实现8源共蒸
UNIvap 4S可用于大小100x100 mm或直径100 mm (4英寸)的基板
UNIvap 5S可用于大小150x150 mm 或直径150 mm (6英寸)的基板