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Mprobe 20 薄膜测量系统 (单点测量)
姓名：魏工(David)
电话：（微信同号）
MProbe 20是一款用于薄膜厚度测量的桌面系统，在世界范围内有成千上万的应用。它测量薄膜厚度和折射率只需鼠标点击。厚度从1nm 1mm，包括多层膜层，可以快速和可靠地测量。不同的MProbe 20模型主要由光谱仪的波长范围和分辨率来区分，这又决定了可以测量的材料的厚度范围和类型。该测量技术基于光谱反射率，具有快速、可靠、无损等特点。
Mprobe 20 产品实图：
Mprobe 20 不同配置与厚度范围：
包括：
主单元(包括光谱仪、光源、光控制器、微处理器)
SH200A样品台，带对焦镜头，可微调
光导纤维反射探头
TFCompanion -RA软件、USB适配器(授权密钥)、USB记忆棒附带软件发行、用户指南等资料
根据型号和黑色吸收体的不同，校准装置(裸硅片和/或石英板和/或铝镜)
测试样品200nm的氧化硅或PET薄膜，视型号而定
USB或LAN线(用于连接主机和PC)
24VDC电源适配器(110/220V)
核心指标:
精度:<0.01nm或0.01%(在200nm的氧化物上测量100次)
精度:<1nm或0.2%(依赖于filmstack)
稳定性:< 0.02nm或0.2%(每天测量20天)
光斑大小:< 1毫米
样本尺寸:>= 10mm
参见下面小册子中MProbe 20薄膜厚度测量系统可用配置的详细规格
波长选配清单：
MProbe 20 | 波长范围 | 规格 | 厚度范围 |
VIS | 400nm -1100nm | F3 Ariel Spectrometer, 2048/4096 pix cmos, 16 bit ADC, 5W Tungsten-Halogen lamp | 10nm – 75 μm |
UVVISSR | 200nm -1100nm | F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp | 1nm -75μm |
VISHR | 700nm-1700nm | F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC, 5W TH lamp | 1μm-400μm |
NIR | 900nm-1700nm | F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp | 50nm – 85μm |
UVVisF | 200nm -800nm | F4 spectrometer, Si detector 2048 pixels ccd, 16 bit ADC, 10W Xe flash lamp | 1nm – 5μm |
UVVISNIR | 200nm-1700nm | F4 Spectrometer, 2048pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp. F4spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp | 1nm -75μm |
NIRHR | 200nm -1100nm | F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp or SLDoption | 10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si) |
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