Spin Processor匀胶旋涂仪SPIN150i
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SPIN150i 和SPIN200i旋涂仪
产品描述：
德国POLOS系列匀胶旋涂仪提供了先进、精确、可重复的?工艺流程控制?方案。?一个?高效的空?气动?力学腔体确保旋涂的?高度均匀性，天然聚丙烯（NPP）或聚四氟?乙烯（PTFE）材质，整机?无?金属裸露，?无交叉污染，易清洗维护，为?用户带来全新的操作体验。操作控制器可拆卸，全尺?寸的触摸屏，可戴?手套操作，耐化学性。
技术参数：
型号 | SPIN150i | SPIN200i |
程序段数： | 无限制 | 无限制 |
操作步数： | 无限制 | 无限制 |
旋转速度： | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-12,000 rpm ±1rpm steps |
旋转精度： | ± 0.1 rpm | ± 0.1 rpm |
旋转方向： | 顺时针、逆时针、交换摆动 | 顺时针、逆时针、交换摆动 |
醉大加速度： | 30000 rpm/s | 30,000 rpm/s |
旋转时间： | 无限制*, ± 0.1 seconds steps | 无限制*, ± 0.1 seconds steps |
基片范围： | 160mm圆形或 4êo x 4êo 正方形 | 160mm圆形或 4êo x 4êo 正方形 |
腔体直径： | 202 mm | 302 mm |
外形尺寸： | 274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm | 380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm |
特征：
适用于大学的经济实惠的旋涂机
• 旋转处理器，用于清洁、干燥、涂覆、显影和/或蚀刻直径达160 mm/260mm的基材
• 天然聚丙烯（NPP）全塑料体系
• 用于手动或自动（可选）化学品分配的台式型号
• 透明盖子，带注射器支架，用于中央点胶
• 电磁安全盖锁
• 可拆卸控制器接口，易于集成
• N2扩散器用于工艺过程中的N2吹扫。
• 通过大型彩色触摸屏轻松、逐步地进行配方编程。
•无限的程序存储，用于食谱，具有多个步骤/每个步骤：
• 时间 0.1-99999 秒/步
• 转速 0-12，000 rpm**
• 旋转方向（连续、特定常规武器、水坑）
• 加速/减速 1-30，000 rpm/秒**，每步可选
• 真空开/关
• 3 个可编程干式触点：例如，用于自动控制点胶单元、氮气扩散器等。
• 结构化和密码保护的配方存储，便于安全管理
• 数字控制电机，带数字增量速度信号反馈
• 包括： （1） 标准真空吸盘
• A-V36-S45-PP，?45 mm，适用于直径达? 6"的晶圆D-V10-S50-PP，适用于? 1/2"- ? 2"片和碎片的小碎片适配器（可选可选）
• 排水连接 1" 公头 NPT
• （排气软管可选）
1年
否
有
视频远程培训
12月1次
在保修期内，所有服务及配件全部免费
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