仪器对比
关注
●高精度触针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。
●X1轴和Z2轴的最大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。
●X1轴和Z1轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨力的轮廓/ 形状测量、表面粗糙度的批量测量。
●Z1轴检出器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
●Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。
●CS-5000CNC带有α轴，可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。
●带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。
●可选的外部控制功能(外部I/O)，与PLC实现双向通信(RS-232C)。
货号 | CS-5000CNC | CS-H5000CNC | ||
X1轴 | 测量范围 | 200mm | ||
分辨力 | 0.00625um | |||
长度基准 | 激光全息光栅尺 | |||
駆动速度 | CNC型 | 最大40mm/s | ||
操纵杆 | 0 - 40m m/s | |||
测量速度 | 0.02,0.05,0.1,0.2mm/s(a面粗糙度),0.02,0.05,0.1, 0.2,0.5,1.0,2.0mm/s (形状/轮廓) | |||
测量方向 | 向前/向后 | |||
直线度 | 使用标准测针） | (0.1+0.0015L)um L:驱动长度(mm) | (0.05+0.0003L)um L:驭动长度(mm) | |
（使用二倍长型测针） | (0.2+0.0015L)um L:驭动长度(mm) | (0.1+0.0015L)um L:驱动长度(mm) | ||
精度(20°C) | ±(0.3+0.002L)um L:驭动长度(mm) | ±(0.16+0.001 L)um L:驭动长度(mm) | ||
Z1轴 （检出器） | 测量范围 | （使用标准测针） | 12mm | 12mm |
（使用二倍长型测针） | 24mm | 24mm | ||
分辨力 | 使用标准测针） | 0.0008um | 0.0008um | |
（使用二倍长型测针） | 0.0016um | 0.0016um | ||
测针针尖垂直运动 | 弧形移动 | |||
长度基准 | 透射型光栅尺 | |||
精度(20°C) | ±(0.3+|0.02H|)um H:测量高度(mm) | ±(0.07+|0.02H|)um H:测量高度(mm) | ||
测力 | （使用标准测针） | 4mN （固定） | ||
（使用二倍长型测针） | 0.75mN (固定) | |||
跟踪角度 | 向上:60。,向下:60。,（根据表面粗格度） | |||
测针针尖形状 | 标准测针 | 针尖角度：40。,针尖半径:5um,金刚石针尖 | ||
标准球头测针 | 球头针尖半径:0.25mm,蓝宝石 | |||
2倍测针 | 针尖角度:40°,针尖半径:5pm,金刚石针尖 | |||
2倍测针 | 一 | 针尖角度:60°,针尖半径:2pm,金刚石针尖 | ||
2倍球头测针 | 球头针尖半径:0.25mm,蓝宝石 | |||
测针方向 | 向下 | |||
Z2轴 （立柱） | 行程范围 | Z2轴（立柱,S型） | 300mm | |
Z2轴（立柱,H型） | 500mm | — | ||
分辨力 | 0.05um | |||
长度基准 | 反射型光栅尺 | |||
驱动速度 | CNC型 | 最大200mm/s | ||
操纵杆 | 0 - 50m m/s | |||
基座尺寸（WxD） | 750x600mm | |||
基座材料 | 花肉岩 | |||
注:虽然天然石材测量桌的外观各有不同，但材料的穏定性是值得信赖的。
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